公开(公告)号：CN114675509A

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202210389706.6

申请日：2022-04-14

Applicant: 广东省智能机器人研究院 ,  华中科技大学

Inventor： 王新兵 ,  陈泽功 ,  左都罗 ,  马修泉 ,  陆陪祥

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及极紫外光产生的方法以及激光等离子体极紫外光源的装置，极紫外光产生的方法包括步骤：液滴驱动处理、信号检测处理以及位置处理。将激光脉冲信号转化为驱动信号，扰动液体，产生液滴，检测所述液滴的极紫外辐射强度，通过计算获取所述激光脉冲的位置及所述液滴的位置信息，调节所述激光脉冲的位置，使所述激光脉冲聚焦于所述液滴上，产生极紫外光。采用本发明所述的极紫外光产生的方法以及激光等离子体极紫外光源的装置，可以不需要增加同步控制装置，在高频下实现激光脉冲与液滴的精确同步，而且通过调节激光脉冲的位置，实现精确打靶，极大提高了等离子体极紫外光源的转换效率，其次所述方法和装置都简便易操作。

公开(公告)号：CN117826168A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202311874261.1

申请日：2023-12-29

Applicant: 广东省智能机器人研究院 ,  华中科技大学

Inventor： 左都罗 ,  王新兵 ,  陈泽功 ,  孙秦 ,  马修泉 ,  陆培祥

IPC: G01S17/08 ,  G03F7/20 ,  G01S17/88 ,  G01S7/481 ,  G01B11/02

Abstract: 本申请涉及一种激光等离子体极紫外光源的液滴检测装置，包括：探测激光器，用于输出探测光束；偏振分束镜，偏振分束镜的透射p偏光偏振方向与探测光束的偏振方向一致；第一透镜，用于将探测光束汇聚在液滴流所在的位置，形成照明区域；其中，当液滴流中的某一液滴经过照明区域时，被该液滴后向反射的探测光束经第一透镜准直为平行光束，平行光束经1/4波片后，转变为偏振分束镜的反射s偏光；光电探测器，用于接收反射s偏光，并生成目标光电信号；信号处理电路，用于对目标光电信号进行处理，得到液滴流中被检测该液滴对应的到达时刻信息和液滴流的侧向偏移信息。本申请能够减少真空腔室的窗口使用量。