内部气相沉积工艺
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102219371A

    公开(公告)日:2011-10-19

    申请号:CN201110092907.1

    申请日:2011-04-13

    Abstract: 本发明涉及一种内部气相沉积工艺。本发明涉及使用内部气相沉积工艺制造光纤用初级预制品的方法,所述方法包括以下步骤:i)设置具有供给侧和排出侧的中空玻璃基管,ii)由加热炉包围至少部分的中空玻璃基管,iii)将掺杂或未掺杂的玻璃形成气体经由中空玻璃基管的供给侧供给至所述中空玻璃基管的内部,iv)创建反应区,在所述反应区中创建条件以使玻璃沉积发生在中空玻璃基管的内部,和v)使反应区在位于中空玻璃基管的供给侧附近的换向点和位于中空玻璃基管的排出侧附近的换向点之间沿着中空玻璃基管的长度往复移动,其中,在至少部分步骤v)期间,当反应区沿排出侧的方向移动时,气体流包含第一浓度的含氟化合物。

    内部气相沉积工艺
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102219371B

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201110092907.1

    申请日:2011-04-13

    Abstract: 本发明涉及一种内部气相沉积工艺。本发明涉及使用内部气相沉积工艺制造光纤用初级预制品的方法,所述方法包括以下步骤:i)设置具有供给侧和排出侧的中空玻璃基管,ii)由加热炉包围至少部分的中空玻璃基管,iii)将掺杂或未掺杂的玻璃形成气体经由中空玻璃基管的供给侧供给至所述中空玻璃基管的内部,iv)创建反应区,在所述反应区中创建条件以使玻璃沉积发生在中空玻璃基管的内部,和v)使反应区在位于中空玻璃基管的供给侧附近的换向点和位于中空玻璃基管的排出侧附近的换向点之间沿着中空玻璃基管的长度往复移动,其中,在至少部分步骤v)期间,当反应区沿排出侧的方向移动时,气体流包含第一浓度的含氟化合物。

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