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公开(公告)号：CN118812168A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410808689.4
申请日：2024-06-21
Applicant: 三叠纪(广东)科技有限公司 , 成都迈科科技有限公司
IPC: C03C15/00
Abstract: 本发明公开了一种高铝硅酸盐玻璃TGV通孔的加工方法，包括步骤:(1)将待加工的高铝硅酸盐玻璃基板进行预处理；(2)采用激光对高铝硅酸盐玻璃基板的目标区域进行照射；(3)采用压力为0.5～10kg/cm2的蚀刻液对高铝硅酸盐玻璃基板进行双面喷淋处理，蚀刻液包括1～10份氢氟酸、1～10份硫酸、1～5份盐酸、1～3份硝酸、1～15份醋酸、1～20份有机醇及95～105份水；(4)于步骤(3)后进行清洗；(5)重复步骤(3)～(4)，直至目标区域的玻璃脱落以形成20～52微米的通孔。本发明采用特定组分蚀刻液并采用高压蚀刻液对激光改性后的高铝硅酸盐玻璃进行通孔蚀刻，能够形成锥度较小、内壁平滑、直径为20～52微米的TGV通孔。
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公开(公告)号：CN116387778A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310580000.2
申请日：2023-05-23
Applicant: 三叠纪(广东)科技有限公司 , 成都迈科科技有限公司
IPC: H01P1/208
Abstract: 本发明实施例提供一种慢波基片集成波导滤波器，用以解决现有多层结构的慢波基片集成波导滤波器存在结构尺寸较大，制作工艺复杂的缺陷。该滤波器包括单层介质基体、第一金属层、第二金属层，在介质基体外周采用等间隔设置外围金属化通孔阵列，中间设置耦合金属化通孔队列和内部金属化盲孔阵列，金属化通孔与第一金属层和第二金属层均电连接，金属化盲孔与第二金属层电连接；外围金属化通孔阵列与耦合金属化通孔队列、内部金属化盲孔阵列形成由谐振腔和耦合窗组成的慢波滤波结构，实现慢波效应，进而实现慢波基片集成波导滤波器的单层化和小型化。
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公开(公告)号：CN119977319A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510338674.0
申请日：2025-03-21
Applicant: 电子科技大学 , 成都迈科科技有限公司
Abstract: 本发明实施例提供一种平板玻璃及其制备方法，涉及电子封装材料领域。该平板玻璃的主要成分为SiO2、Al2O3、B2O3、R2O，其中，R2O选自Li2O、Na2O和K2O中的一种、两种或三种，且按照氧化物摩尔百分比计，所述平板玻璃包括以下组分：SiO2：60％～75％；Al2O3：0.5％～3.0％；B2O3：18％～32％；R2O：4.0％～8.0％；本发明实施例通过对平板玻璃的组分进行设计，获得的平板玻璃兼具低介电常数、低介电损耗、低热膨胀系数和高热稳定性，且制备方法与玻璃材料的成熟制造工艺兼容，适合大规模量产。
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公开(公告)号：CN119542144A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411644412.9
申请日：2024-11-18
Applicant: 成都迈科科技有限公司
IPC: H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种金属化垂直玻璃通孔的制备方法，步骤包括：采用激光照射方法对玻璃基板的目标区域进行改性以形成变性区；采用溅射方式于玻璃基板上形成第一金属层；采用紫外照射方法将对应于变性区上的第一金属层进行烧蚀以露出变性区；采用腐蚀液蚀刻变性区以形成第一盲孔；对玻璃基板进行清洗、干燥；采用溅射方式于玻璃基板上形成第二金属层；采用紫外照射方法将第一盲孔底部的第二金属层进行烧蚀；采用腐蚀液蚀刻第一盲孔以形成第二盲孔；对玻璃基板进行清洗干燥；重复步骤(6)～(9)，得到金属化垂直玻璃通孔。该制备方法可制得深径比高、垂直度好的玻璃通孔，同时确保金属层能够稳定且均匀地附着在玻璃通孔的内壁上。
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公开(公告)号：CN118383561A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410679882.2
申请日：2024-05-29
Applicant: 三叠纪(广东)科技有限公司 , 成都迈科科技有限公司
Abstract: 本发明公开一种电子雾化装置的加热模块及电子雾化装置，包括玻璃材质基底、导电加热层及一对电极，所述导电加热层设置于所述玻璃材质基底的表面，两所述电极分别设置于所述导电加热层的表面的相对两端；所述玻璃材质基底设有多个贯通其表面及底面的第一微孔，所述导电加热层设有多个贯通其表面及底面的第二微孔；所述第一微孔与所述第二微孔一一对应地连通。本发明电子烟雾化装置具有雾化效果好、热量损失少、使用效率高、使用寿命长、生产成本低的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113066758A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110307374.8
申请日：2021-03-23
Applicant: 成都迈科科技有限公司
IPC: H01L21/768
Abstract: 本发明提供了一种TGV深孔填充方法，包括以下步骤：A、对玻璃基板进行清洗；B、对玻璃基板进行激光打孔，得到多个玻璃通孔；C、采用腐蚀液对玻璃基板以及玻璃通孔进行腐蚀；D、对玻璃基板以及玻璃通孔进行种子层溅射；E、将玻璃基板浸泡在稀硫酸溶液中以进行活化；F、电镀。通过对玻璃基板以及玻璃通孔进行腐蚀，使得玻璃基板以及玻璃通孔表面变得粗糙，种子层与玻璃基板以及玻璃通孔之间的摩擦系数增大，可增强种子层的附着强度，在后续活化以及电镀过程中，可在一定的程度上防止种子层脱落，从而保证电镀的效果。
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公开(公告)号：CN112864026A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110307378.6
申请日：2021-03-23
Applicant: 成都迈科科技有限公司
IPC: H01L21/48
Abstract: 本发明提供了一种激光结合HF湿刻蚀加工TGV通孔的工艺，包括A、利用激光在玻璃晶圆上预设小孔；B、将玻璃晶圆放入装有HF溶液的容器，将容器放入超声设备中，开启超声设备，利用HF溶液将玻璃晶圆上的小孔腐蚀至需要的直径；C、取出玻璃晶圆，用去离子水清洗干净；D、检测玻璃通孔的孔径和通透性。通过激光诱导作用，可采用HF溶液刻蚀出孔径小于或等于50μm的圆孔，效率高，且通孔内壁光滑，锥度小，通孔密度可大于2500个/cm2，可有效减小玻璃晶圆的尺寸。
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公开(公告)号：CN118929566A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410995682.8
申请日：2024-07-24
Applicant: 三叠纪(广东)科技有限公司 , 成都迈科科技有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明实施例提供一种碱金属原子气室制作方法及碱金属原子气室，用以解决现有碱金属原子气室制作方法很难实现气室本体的内腔形状和尺寸的精确控制的技术问题。该碱金属原子气室制作方法，采用微纳加工技术制作得到的气室本体，其内腔形状规则、尺寸精度可达微米及以下。具有这种高精度的规则内腔结构的所述碱金属原子气室，具有优良的密封性能和长期稳定性，能够满足原子能级光路对光线漫射、散射和折射的严格要求，有利于精确操控和观测碱金属原子。此外，本发明实施例中的碱金属原子气室制作方法可在常规环境下实现碱金属原子气和惰性气体的注入，大大简化了生产流程，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN117139031A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311173678.5
申请日：2023-09-12
Applicant: 三叠纪(广东)科技有限公司 , 成都迈科科技有限公司
Abstract: 本发明实施例提供一种雾化芯、雾化结构及电子雾化装置，用以解决现有的加热式雾化芯雾化效率低，需要通过增加加热功率强行蒸发液体，以致雾化片局部过热从而烧焦液体中的有机物，产生有害气溶胶的缺陷。该雾化芯包括开设有通孔阵列的管状玻璃基体和贴设在管状玻璃基体外周的电阻加热膜层。相较于现有的加热式雾化芯采用烧结工艺形成的收缩通孔结构，该雾化芯采用由激光诱导蚀刻工艺形成的扩张通孔结构，增大通孔内腔的容积空间大，同时还增加了基体管腔的容积空间作为储液空间，有效地提高了雾化芯的储液量；雾化时，会先对基体管腔的液体进行预加热升温，进而仅需较少的热量就能快速将预加热后的液体蒸发成微细雾滴，有效提升了雾化效率。
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公开(公告)号：CN119528446A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411644417.1
申请日：2024-11-18
Applicant: 成都迈科科技有限公司
IPC: C03C15/00 , C03C23/00 , H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种含有高深径比孔洞的玻璃的制备方法，步骤包括：(1)将玻璃基板进行预处理；(2)采用超快激光对玻璃基板的目标区域进行照射而形成变性区；(3)于玻璃基板的上下表面涂覆光刻胶；(4)于步骤(3)后进行曝光处理；(5)于步骤(4)后进行显影处理以漏出变性区；(6)对玻璃基板上的变性区进行干法蚀刻，得到含有高深径比孔洞的玻璃，其中干法蚀刻的反应气体为氟基气体和氧气。本发明的制备方法巧妙结合了超快激光的高精度加工、光刻胶的精细掩模保护作用以及干法蚀刻的精细控制，从而可高效、高精度地制备含有高深径比孔洞的玻璃。
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