公开(公告)号：CN108385088A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810336897.3

申请日：2018-04-16

Applicant: 扬州大学

Inventor： 李大玉 ,  代书雨 ,  张徐 ,  张章 ,  肖金坤 ,  张超

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/505

Abstract: 本发明公开了集成光路领域内的一种TiSiO复合光波导薄膜的制备方法，包括如下步骤：按照Ti/Si为（3∶7）~（4∶1）将气态钛源和硅源通入PECVD装置，PECVD装置包括位于上方的等离子腔和下方的沉积室，等离子腔与射频电源一连接，产生平行耦合的横向感性射频电场，控制射频电场的射频电源一的功率为200~600W，控制沉积室内部压强为10-8~10-7Pa，沉积室底部设有衬底，将待电离气体通入等离子腔，待电离气体在电场作用下生成等离子体，等离子体与钛源和硅源在沉积室反应，在衬底上生成TiSiO复合光波导薄膜。本发明能够得到结构比较简单的TiSiO复合光波导薄膜，本光波导薄膜易实现与Si集成，而且材料体系的折射率能在较大的范围进行调节。

公开(公告)号：CN208230213U

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：CN201820352489.2

申请日：2018-03-15

Applicant: 扬州大学

Inventor： 李大玉 ,  张徐 ,  代书雨 ,  张超 ,  肖金坤

IPC: B05C3/10 ,  B05C13/00

Abstract: 本实用新型公开了光学薄膜制备装置领域内的一种制备光学薄膜的液体提拉机，包括底座，底座上设有盛有溶胶的容器，所述底座上方竖直设有导轨，导轨的上端和下端分别设有导轨上支座和导轨下支座，导轨下支座固定连接在底座上，所述底座上竖直设有支撑架，支撑架的顶部与导轨上支座固定连接，所述导轨上支座和导轨下支座之间竖直设有滚珠丝杠，滚珠丝杠的一端与驱动电机传动连接，所述导轨上滑动连接有滑块，滑块上对应滚珠丝杠设有螺纹孔，滑块通过螺纹孔与滚珠丝杠传动连接，滑块侧面连接有挂杆，挂杆上对应容器设有悬挂基体的挂圈。本实用新型能够在基体上制备具有纳米结构特征的稳定均匀的光学薄膜，且结构简单，提膜速度可调。