提高镁蒸发速度的蒸发方法

    公开(公告)号:CN1137574A

    公开(公告)日:1996-12-11

    申请号:CN96102793.2

    申请日:1996-03-28

    CPC classification number: C23C14/243 C23C14/16

    Abstract: 本发明涉及提高镁蒸发速度的蒸发方法。将镁加到带有开口部的容器中并加热到670℃以上,使镁蒸气从开口部蒸发。可在开口部的出口设有反射板,也可用导管将镁蒸气导至基板。当没有氧化膜和反应生成膜覆盖在熔融镁表面并以稳定条件使镁从熔融状态蒸发时,宜在满足W1/W2<0.6(PMg×V3)和W1/W2<0.04×PMg条件下蒸发镁,其中,W1是蒸发用容器的开口部的面积(mm)2、W2是熔融镁的蒸发面积(mm)2、PMg是镁的蒸气压(托)和V是真空度(托)。

    一种镁的蒸发方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1070934C

    公开(公告)日:2001-09-12

    申请号:CN96102793.2

    申请日:1996-03-28

    CPC classification number: C23C14/243 C23C14/16

    Abstract: 本发明涉及一种镁的蒸发方法。向蒸发容器内加入镁,其中所述蒸发容器设有一比较窄的开口部,且在所述开口部的外侧设置有加热至500℃以上的反射板,将蒸发容器内的温度提高到670℃以上,在使镁熔融的同时,使产生的镁蒸汽充满于容器内,用充满在蒸发容器内的镁蒸汽压力,一边抑制镁的升华,一边从蒸发容器的开口部喷出镁蒸汽,并且蒸发容器开口部的面积W1、蒸发面积W2、镁的蒸汽压PMg、真空度V之间要满足W1/W2

    测控蒸汽沉淀镀涂生产线和设备中金属蒸汽量的原子吸收分析

    公开(公告)号:CN1167165A

    公开(公告)日:1997-12-10

    申请号:CN97103725.6

    申请日:1997-03-27

    CPC classification number: G01N21/3103

    Abstract: 从蒸汽源经由导管流入钢条的金属蒸汽,通过输出管流入测量室作为样本。以测量光束照射金属蒸汽检测出的吸光度计算流入导管的金属蒸汽量并以计算结果为基础调节设置在导管上的开关门的开启率以控制流经导管的蒸汽量。流经导管的金属蒸汽量太大时,到达测量光束的蒸汽量可通过从测量室部分释放蒸汽来减少,因为沉淀量是由流经导管的金属蒸汽量直接控制。在连续蒸汽沉积镀涂生产线中的沉积镀层量可在很短的响应时间内高精度地控制。

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