杂质扩散用涂布液
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103460346A

    公开(公告)日:2013-12-18

    申请号:CN201280017009.2

    申请日:2012-05-18

    CPC classification number: H01L21/2225 H01L21/228

    Abstract: 一种杂质扩散用涂布液,其含有:聚乙烯醇系树脂(A)、杂质(B)以及沸点为100℃以上的多元醇(C),该多元醇(C)的含量为涂布液中的70重量%以上。因此,适合于丝网印刷,可实现长时间的连续印刷、间隔了空闲期后的印刷,即便将皮膜形成后的半导体基板以直立状态烧成,也能够得到电阻值的上下的差别小的半导体。

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