一种表面形状识别传感器的制造方法

    公开(公告)号:CN1445716A

    公开(公告)日:2003-10-01

    申请号:CN03120449.X

    申请日:2003-03-17

    CPC classification number: G06K9/00053

    Abstract: 一种制造一种表面形状识别传感器的方法,在一个半导体衬底上形成第一和第二互连部分。在这个半导体衬底上形成一个中间介电膜。一个通过中间介电膜上的第一和第二直通孔,电气连接互连部分的第一金属膜。一个位于第一金属膜上的第一掩模,用于覆盖分别对应直通孔的预定第一和第二区域。可选择地去除这个露出的第一金属膜。一个绝缘钝化膜,用于覆盖传感器电极和连接电极膜。一个位于钝化膜上,能够到达连接电极膜的第三直通孔。一个位于钝化膜上,能够与露出的连接电极相接触的第二金属膜。一个位于第二金属膜上,并在一个预定区域内有一个图形部分的第二掩模。可选择地去除第二金属膜,形成一个通过连接电极膜,连接第二互连部分的接地电极。

    一种表面形状识别传感器的制造方法

    公开(公告)号:CN1203440C

    公开(公告)日:2005-05-25

    申请号:CN03120449.X

    申请日:2003-03-17

    CPC classification number: G06K9/00053

    Abstract: 一种制造一种表面形状识别传感器的方法,在一个半导体衬底上形成第一和第二互连部分。在这个半导体衬底上形成一个中间介电膜。一个通过中间介电膜上的第一和第二直通孔,电气连接互连部分的第一金属膜。一个位于第一金属膜上的第一掩模,用于覆盖分别对应直通孔的预定第一和第二区域。可选择地去除这个露出的第一金属膜。一个绝缘钝化膜,用于覆盖传感器电极和连接电极膜。一个位于钝化膜上,能够到达连接电极膜的第三直通孔。一个位于钝化膜上,能够与露出的连接电极相接触的第二金属膜。一个位于第二金属膜上,并在一个预定区域内有一个图形部分的第二掩模。可选择地去除第二金属膜,形成一个通过连接电极膜,连接第二互连部分的接地电极。

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