公开(公告)号：CN102326248B

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201080008852.5

申请日：2010-02-12

Applicant: 日本电气株式会社

Inventor： 涩谷明信 ,  竹村浩一 ,  真子隆志

IPC: H01L21/822 ,  H01L21/66 ,  H01L27/04

CPC classification number: H01G7/00 ,  H01L22/14 ,  H01L22/20 ,  H01L27/016 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T29/43 ,  Y10T29/435 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种电容器制造方法、电容器制造装置、电容器制造程序以及存储介质。在电容器制造方法中，在衬底上对底部电极、薄膜电介质以及顶部电极进行成膜而形成电容器，在对该电容器划分为电容器单元之前，检测包含颗粒部、以及底部电极和顶部电极之间的电短路部的缺陷部。接着，将上述电容器划分为电容器单元之前，去除颗粒部、底部电极和顶部电极之间的电短路部等缺陷部。