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公开(公告)号:CN1210622C
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN98117484.1
申请日:1998-08-27
Applicant: 日本电气株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/038 , G03F7/0045 , Y10S430/109
Abstract: 一种负型光致抗蚀剂组合物,由以下成分组成:含有由化学通式(1)所示重复单元的聚合物,由含有化学通式(2)所示官能团的化合物组成的交联剂,和响应光而产酸的光-酸发生剂。化学通式(1)和(2)如下,式中的R1,R2和R8如说明书中所述。
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公开(公告)号:CN1209570A
公开(公告)日:1999-03-03
申请号:CN98117484.1
申请日:1998-08-27
Applicant: 日本电气株式会社
IPC: G03F7/04
CPC classification number: G03F7/038 , G03F7/0045 , Y10S430/109
Abstract: 一种负型光致抗蚀剂组合物,由以下成分组成:含有由化学通式(1)所示重复单元的聚合物,由含有化学通式(2)所示官能团的化合物组成的交联剂,和响应光而产酸的光-酸发生剂。化学通式(1)和(2)如下,式中的R1,R2和R8如说明书中所述。
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