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公开(公告)号:CN101558292A
公开(公告)日:2009-10-14
申请号:CN200780045699.1
申请日:2007-12-13
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: G01N21/958 , G01M11/00 , G01B11/30 , G02F1/13 , G02F1/1333 , H01J9/42
CPC classification number: G01M11/081 , G01N21/896 , G02F2001/133302 , Y10T428/1045
Abstract: 本发明提供一种玻璃板缺陷检测装置(10),其迅速且有效地高精度检测产生于玻璃板内部或表面的各种缺陷。玻璃板缺陷检测装置(10)具备配置于夹着玻璃板(G)的相对位置的光源(20)和光接收装置(30)。玻璃板(G)具有在其厚度方向上相对的透光面(Ga)、(Gb),且以透光面(Ga)、(Gb)相对该玻璃板缺陷检测装置(10)的光学系统的光轴(Lx)倾斜规定角度(α)的方式配置于光源(20)和光接收装置(30)之间。此外,光接收装置(30)和玻璃板(G)在光轴(Lx)上,以光接收装置(30)的透镜系统(31)的焦点距离(F)小于从光接收装置(30)的光接收元件到玻璃板(G)的距离(Z)的位置关系配置。
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公开(公告)号:CN101558292B
公开(公告)日:2013-08-28
申请号:CN200780045699.1
申请日:2007-12-13
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: G01N21/958 , G01M11/00 , G01B11/30 , G02F1/13 , G02F1/1333 , H01J9/42
CPC classification number: G01M11/081 , G01N21/896 , G02F2001/133302 , Y10T428/1045
Abstract: 本发明提供一种玻璃板缺陷检测装置(10),其迅速且有效地高精度检测产生于玻璃板内部或表面的各种缺陷。玻璃板缺陷检测装置(10)具备配置于夹着玻璃板(G)的相对位置的光源(20)和光接收装置(30)。玻璃板(G)具有在其厚度方向上相对的透光面(Ga)、(Gb),且以透光面(Ga)、(Gb)相对该玻璃板缺陷检测装置(10)的光学系统的光轴(Lx)倾斜规定角度(α)的方式配置于光源(20)和光接收装置(30)之间。此外,光接收装置(30)和玻璃板(G)在光轴(Lx)上,以光接收装置(30)的透镜系统(31)的焦点距离(F)小于从光接收装置(30)的光接收元件到玻璃板(G)的距离(Z)的位置关系配置。
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