公开(公告)号：CN107851599A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680044541.1

申请日：2016-03-15

Applicant: 日本精工株式会社

Inventor： 中村刚 ,  仓持尚史

IPC: H01L21/68 ,  B23Q1/40 ,  B23Q1/48 ,  B23Q1/62

CPC classification number: B23Q1/40 ,  B23Q1/48 ,  B23Q1/62 ,  F16C29/00 ,  G03F7/20 ,  G12B5/00 ,  G12B9/10 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683

Abstract: 工作台装置包括对工作台施加第1轴线方向上的力的第1驱动装置和对工作台施加第2轴线方向上的力的第2驱动装置。第1驱动装置具有：第1驱动器，其能产生用于使工作台沿第1轴线方向移动的动力；以及第1可动构件，其通过第1驱动器的工作而沿着与第1轴线平行的第1驱动轴线移动。第1可动构件包含：第1直线轴承，其沿着第1驱动轴线移动；第1旋转轴承，其配置在固定于第1直线轴承的第1杆构件的周围，并能够相对于第1杆构件相对旋转；以及第2直线轴承，其连接于第1旋转轴承，并被固定于工作台的第1轴线方向上的端部的第2引导构件沿第2轴线方向引导。

公开(公告)号：CN107851599B

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN201680044541.1

申请日：2016-03-15

Applicant: 日本精工株式会社

Inventor： 中村刚 ,  仓持尚史

IPC: H01L21/68 ,  B23Q1/40 ,  B23Q1/48 ,  B23Q1/62

Abstract: 工作台装置包括对工作台施加第1轴线方向上的力的第1驱动装置和对工作台施加第2轴线方向上的力的第2驱动装置。第1驱动装置具有：第1驱动器，其能产生用于使工作台沿第1轴线方向移动的动力；以及第1可动构件，其通过第1驱动器的工作而沿着与第1轴线平行的第1驱动轴线移动。第1可动构件包含：第1直线轴承，其沿着第1驱动轴线移动；第1旋转轴承，其配置在固定于第1直线轴承的第1杆构件的周围，并能够相对于第1杆构件相对旋转；以及第2直线轴承，其连接于第1旋转轴承，并被固定于工作台的第1轴线方向上的端部的第2引导构件沿第2轴线方向引导。

公开(公告)号：CN116761946A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202280011229.8

申请日：2022-01-14

Applicant: 日本精工株式会社

Inventor： 渡部绘里 ,  石和田博 ,  竹内健人 ,  前原茂树 ,  仓持尚史 ,  艾哈迈德菲尔达斯·宾阿卜杜勒哈利姆

IPC: F16C33/78

Abstract: 深沟球轴承(10)具备外圈(11)、内圈(12)、多个滚珠(13)以及密封部件(15)。轴向截面宽度(W)小于径向截面高度(H)(W＜H)，内圈(12)的壁厚(c)大于外圈(11)的壁厚(d)(c＞d)，滚珠(13)的节圆直径(PCD)大于内圈(12)的内径与外圈(11)的外径的中间径(MD)(PCD＞MD)。另外，内圈(12)的肩部(12g)的外径与密封部件(15)的内径之间的径向尺寸(b)大于外圈(11)的壁厚(d)(b＞d)。由此，能够实现窄幅化、轻量化，并且确保负载容量，并且抑制润滑脂泄漏而实现长寿命化。