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公开(公告)号：CN104122755B
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201410168433.8
申请日：2014-04-24
Applicant: 日立化成株式会社
Inventor： 笹原直树 , 向郁夫 , 佐藤真弓 , 濑里泰洋 , 安部攻治 , 桐生真奈美
IPC: G03F7/11
Abstract: 本发明提供感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件。所述感光性元件(1)具备支撑膜(10)、保护膜(聚丙烯膜)(30)和配置于支撑膜(10)与保护膜(30)之间的感光层(20)，保护膜(30)具有感光层(20)侧的主面(30a)和主面(30a)的相反侧的主面(30b)，主面(30a)及主面(30b)是平滑的。
公开(公告)号：CN104122755A
公开(公告)日：2014-10-29
公开(公告)号：CN203950118U
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201420202700.4
Abstract: 本实用新型提供感光性元件、感光性元件卷以及电子部件。所述感光性元件(1)具备支撑膜(10)、保护膜(聚丙烯膜)(30)和配置于支撑膜(10)与保护膜(30)之间的感光层(20)，保护膜(30)具有感光层(20)侧的主面(30a)和主面(30a)的相反侧的主面(30b)，主面(30a)及主面(30b)是平滑的。
