检查装置
    3.
    发明公开
    检查装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN117222886A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202280029258.7

    申请日:2022-03-15

    Abstract: 检查装置(1)对片材状或板状的具有透光性的对象物(9)的缺陷进行检测。缺陷检测部的轮廓获取部获取在拍摄图像中,在第一方向的多个检查位置沿第二方向呈直线状延伸的多个检查区域中的多个亮度轮廓。周期性缺陷判别部对于所述多个亮度轮廓分别检测周期性亮度变动。周期性缺陷判别部在周期相同的周期性亮度变动在所述多个亮度轮廓中共同存在的情况下,判断为存在第一周期性缺陷,在与存在于所述多个亮度轮廓中的一个亮度轮廓的周期性亮度变动为相同周期的周期性亮度变动不存在于其他亮度轮廓的情况下,判断为存在第二周期性缺陷。由此,可自动判别且检测缺陷的种类。

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