公开(公告)号：CN1208809C

公开(公告)日：2005-06-29

申请号：CN02802895.3

申请日：2002-07-31

Applicant: 旭化成微系统株式会社

Inventor： 今井启二

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01L21/67276 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/7075 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 为了减小当一个分档器处理多种产品时出现的晶片传送停止时间，在第一盒子端口7a的半导体晶片的曝光完成之前，从主计算机2获得用于第二盒子端口7b的半导体晶片的处理方法，通过定序器5检测第一盒子端口7a的半导体晶片的曝光进程，根据所获得的处理方法判断第二盒子端口7b的半导体晶片是否可以被传送到在第一盒子端口7a的最后一个半导体晶片之后的曝光阶段，并且使得分档器1根据该判断结果和进程检测结果执行曝光。

公开(公告)号：CN1473351A

公开(公告)日：2004-02-04

申请号：CN02802895.3

申请日：2002-07-31

Applicant: 旭化成微系统株式会社

Inventor： 今井启二

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01L21/67276 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/7075 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 为了减小当一个分档器处理多种产品时出现的晶片传送停止时间，在第一盒子端口7a的半导体晶片的曝光完成之前，从主计算机2获得用于第二盒子端口7b的半导体晶片的处理方法，通过定序器5检测第一盒子端口7a的半导体晶片的曝光进程，根据所获得的处理方法判断第二盒子端口7b的半导体晶片是否可以被传送到在第一盒子端口7a的最后一个半导体晶片之后的曝光阶段，并且使得分档器1根据该判断结果和进程检测结果执行曝光。