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公开(公告)号:CN1422310A
公开(公告)日:2003-06-04
申请号:CN01807780.3
申请日:2001-04-04
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: C09D183/02 , C09D183/04 , C09D183/14 , C09D5/25 , C01B33/12 , H01L21/76 , H01L21/316 , H01L21/312
CPC classification number: H01L21/02126 , C09D183/04 , C09D183/14 , H01L21/02203 , H01L21/02216 , H01L21/02282 , H01L21/02337 , H01L21/3121 , H01L21/3122 , H01L21/316 , Y10T428/31663
Abstract: 本发明公开了一种用于制备绝缘薄膜的涂料组合物,所述的涂料组合物包含:(A)至少一种氧化硅前体,所述的氧化硅前体包含至少一种选自烷氧基硅烷和其水解产物的化合物;(B)至少一种有机聚合物;(C)水;(D)至少一种醇;和,任选的(E)用于组分(A)、(B)、(C)和(D)混合物的有机溶剂;其中水(C)与所含的至少一种氧化硅前体(A)的重量比(WR)满足不等式0.01<WR<10,水(C)的重量比所含的至少一种醇(D)的重量大,条件是当所含的至少一种有机聚合物(B)在水(C)和醇(D)的混合物中不溶时,涂料组合物包含所有(A)至(E)的组分。
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公开(公告)号:CN1227311C
公开(公告)日:2005-11-16
申请号:CN01807780.3
申请日:2001-04-04
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: C09D183/02 , C09D183/04 , C09D183/14 , C09D5/25 , C01B33/12 , H01L21/76 , H01L21/316 , H01L21/312
CPC classification number: H01L21/02126 , C09D183/04 , C09D183/14 , H01L21/02203 , H01L21/02216 , H01L21/02282 , H01L21/02337 , H01L21/3121 , H01L21/3122 , H01L21/316 , Y10T428/31663
Abstract: 本发明公开了一种用于制备绝缘薄膜的涂料组合物,所述的涂料组合物包含:(A)至少一种氧化硅前体,所述的氧化硅前体包含至少一种选自烷氧基硅烷和其水解产物的化合物;(B)至少一种有机聚合物;(C)水;(D)至少一种醇;和,任选的(E)用于组分(A)、(B)、(C)和(D)混合物的有机溶剂;其中水(C)与所含的至少一种氧化硅前体(A)的重量比(WR)满足不等式0.01<WR<10,水(C)的重量比所含的至少一种醇(D)的重量大,条件是当所含的至少一种有机聚合物(B)在水(C)和醇(D)的混合物中不溶时,涂料组合物包含所有(A)至(E)的组分。
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