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发明公开
透光性板状物检查系统无效

公开(公告)号：CN103339495A

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201280007368.X

申请日：2012-01-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 高田淳 , 金子静则 , 村上达也 , 有田祐介

IPC: G01N21/896

CPC classification number: G01N21/896

Abstract: 本发明提供一种透光性板状物检查系统，能够缩小配置相机的区域的宽度，另外，能够拍摄更准确地反映倒角宽度、缺陷的大小的图像。第1透过型拍摄相机(11a)配置为沿使玻璃板(20)的上表面的垂线(41)向玻璃板(20)的侧面侧倾斜预定角度θ而得到的轴(42)，从上侧拍摄玻璃板(20)的端部。另外，第2透过型拍摄相机(11b)配置为沿使玻璃板的下表面的垂线(43)向玻璃板(20)的侧面侧倾斜预定角度θ而得到的轴(44)，从下侧拍摄玻璃板(20)的端部。在设规定为玻璃板(20)的上表面的倒角宽度与下表面的倒角宽度的差的绝对值的上限的值为Ws1、上述玻璃板的板厚为D时，θ为tan-1(Ws1/D)以上15°以下。

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