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发明公开
清洁圆盘形玻璃基片和磁盘的方法无效复审申请

公开(公告)号：CN1899710A

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN200610105939.X

申请日：2006-07-18

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 宮原修 , 万波和夫 , 染谷邦之 , 丸山勉

IPC: B08B11/00 , B08B3/04

CPC classification number: G11B5/8404 , B08B3/02 , B08B11/02 , B08B2203/0288 , C03C23/0075 , G11B23/505

Abstract: 一种清洁圆盘形玻璃基片的方法，该方法包括使所述圆盘形玻璃基片绕其中心旋转，并且其主表面处于垂直状态，以及使被超声波辐照过的清洁液沿所述旋转的玻璃基片的外缘表面流下。

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