公开(公告)号：CN102245350B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN200980149953.1

申请日：2009-12-01

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 秋山秀 ,  铃木健司 ,  齐藤勋 ,  关昌雄

IPC: B23Q15/00 ,  B24B49/10 ,  B24B37/04 ,  B24B49/18 ,  B24B53/00

CPC classification number: B24B49/10 ,  B24B37/04 ,  B24B49/18 ,  B24B53/017

Abstract: 本发明提供一种研磨装置，使研磨工具和被研磨物相对压紧而移动，并且一边向所述研磨工具与所述被研磨物之间供给研磨液一边利用所述研磨工具研磨所述被研磨物，所述研磨装置的特征在于，具备：AE传感器，安装在支承所述研磨工具或所述被研磨物的板上；异常检测部，基于来自所述被研磨物的弹性波被所述AE传感器检测到时从所述AE传感器发出的输出信号，检测研磨中的异常；及警告单元，当由所述异常检测部检测到所述被研磨物的异常时发出警告。

公开(公告)号：CN102245350A

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200980149953.1

申请日：2009-12-01

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 秋山秀 ,  铃木健司 ,  齐藤勋 ,  关昌雄

IPC: B24B49/10 ,  B24B37/04 ,  B24B49/18 ,  B24B53/00

CPC classification number: B24B49/10 ,  B24B37/04 ,  B24B49/18 ,  B24B53/017

Abstract: 本发明提供一种研磨装置，使研磨工具和被研磨物相对压紧而移动，并且一边向所述研磨工具与所述被研磨物之间供给研磨液一边利用所述研磨工具研磨所述被研磨物，所述研磨装置的特征在于，具备：AE传感器，安装在支承所述研磨工具或所述被研磨物的板上；异常检测部，基于来自所述被研磨物的弹性波被所述AE传感器检测到时从所述AE传感器发出的输出信号，检测研磨中的异常；及警告单元，当由所述异常检测部检测到所述被研磨物的异常时发出警告。