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公开(公告)号:CN102027539A
公开(公告)日:2011-04-20
申请号:CN200980117004.5
申请日:2009-05-12
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: G11B5/851
Abstract: 本发明提供使用同一个在线式装置进行介质的制造,由此能够减少处理造成的污染、提高生产率的磁记录介质的制造方法。该磁记录介质的制造方法,其特征在于,依次地具有:将至少层叠有记录磁性层和用于将所述记录磁性层图案化的掩模层的非磁性基板装载于运载器的装载工序;通过对所述记录磁性层之中的没有被所述掩模层覆盖的部位进行反应性等离子处理或离子照射处理而将磁特性改性,形成由残存的磁性体构成的磁记录图案的改性工序;除去所述掩模层的除去工序;在所述记录磁性层上形成保护膜的保护膜形成工序;以及,从所述运载器卸下所述非磁性基板的卸下工序。将所述改性工序、所述除去工序或所述保护膜形成工序中的任一个以上的工序分成多个室而连续处理。
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公开(公告)号:CN102016987B
公开(公告)日:2013-02-13
申请号:CN200980115480.3
申请日:2009-04-24
Applicant: 昭和电工株式会社
Inventor: 福島正人
Abstract: 本发明提供一种能够以高生产效率进行制造、能够通过凹状的分离区域将由磁性层形成的凸部间分离、磁头的浮起特性的稳定性优异的磁记录介质。所述磁记录介质(40),在圆盘状的基板的至少一个表面具备圆环状的磁记录区域(A)和沿着磁记录区域(A)的边缘部配置的停放区域(B),在磁记录区域(A)具备设置有数据图案(45)的数据区域(41)和设置有伺服图案(46)的伺服信息区域(42),所述数据图案(45)由凸部(43a)和在凸部(43a)的周围形成的凹状的分离区域(44a)形成,所述凸部(43a)由磁性层形成,所述伺服图案(46)由凸部((43b)、(43c))和分离区域(44b)形成,具有俯视与数据图案(45)不同的形状,在停放区域(B)的至少一部分设置有具有形状与数据图案(45)的凸部(43a)的形状相同的凸部的凹凸图案(47)。
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公开(公告)号:CN101971254B
公开(公告)日:2012-09-19
申请号:CN200980108426.6
申请日:2009-01-09
Applicant: 昭和电工株式会社
Abstract: 公开了一种制造具有磁性分离的磁记录图形的磁记录介质的方法。该方法包括:在非磁性基底上形成磁性层的步骤,该磁性层包含0.5原子%到6原子%的氧化物;以及将所述磁性层中的将要彼此磁性地分离的区域暴露到反应等离子体或反应离子的步骤。所述磁性层优选具有非颗粒状结构且是面内取向型磁性层。优选地,在将所述区域暴露到反应等离子体或反应离子的步骤之后,至少进行将惰性气体施加到已经暴露到所述反应等离子体或所述反应离子的所述区域中的表面。该方法可以以高生产率制造这样的磁记录介质,该磁记录介质包括高度精确的磁记录图形并具有高电磁转换特性和高记录密度。
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公开(公告)号:CN102027415A
公开(公告)日:2011-04-20
申请号:CN200980117003.0
申请日:2009-05-14
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: G03F7/20 , B29C59/02 , G11B5/84 , H01L21/027 , B29L11/00
CPC classification number: G11B5/855 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明提供一种图案形成方法,具有以下第1~第3工序:第1工序,在基材上形成第一紫外线固化性树脂层;第2工序,使第一模具的形成了规定图案的图案形成面与上述第一紫外线固化性树脂层相对,并将上述基材与第一模具压接;第3工序,将使紫外光扩散的部件介于上述紫外线固化性树脂层与紫外光源之间,对通过上述压接而转印了上述第一模具的图案的第一紫外线固化性树脂层照射扩散了的紫外光。
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公开(公告)号:CN102027539B
公开(公告)日:2013-03-13
申请号:CN200980117004.5
申请日:2009-05-12
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: G11B5/851
Abstract: 本发明提供使用同一个在线式装置进行介质的制造,由此能够减少处理造成的污染、提高生产率的磁记录介质的制造方法。该磁记录介质的制造方法,其特征在于,依次地具有:将至少层叠有记录磁性层和用于将所述记录磁性层图案化的掩模层的非磁性基板装载于运载器的装载工序;通过对所述记录磁性层之中的没有被所述掩模层覆盖的部位进行反应性等离子处理或离子照射处理而将磁特性改性,形成由残存的磁性体构成的磁记录图案的改性工序;除去所述掩模层的除去工序;在所述记录磁性层上形成保护膜的保护膜形成工序;以及,从所述运载器卸下所述非磁性基板的卸下工序。将所述改性工序、所述除去工序或所述保护膜形成工序中的任一个以上的工序分成多个室而连续处理。
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公开(公告)号:CN102036797A
公开(公告)日:2011-04-27
申请号:CN200980118131.7
申请日:2009-05-22
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: B29C33/40 , B29C59/02 , G11B5/84 , H01L21/027
CPC classification number: G11B5/855 , B29C33/3842 , B29C33/424 , Y10T428/31663
Abstract: 本发明涉及一种树脂制模制作用叠层体和使用了所述叠层体的树脂制模的制造方法。本发明的叠层体是通过使用了母模的压缩成型来制作树脂制模的叠层体,具有:相互对向的一对基体、夹在所述一对基体间的液态或凝胶状的固化性树脂材料的层、和夹在所述一对基体间的一个以上的流动制止体,所述流动制止体是所述固化性树脂材料的固化物,所述固化性树脂材料的层被一对基体以及流动制止体封入。
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公开(公告)号:CN101971254A
公开(公告)日:2011-02-09
申请号:CN200980108426.6
申请日:2009-01-09
Applicant: 昭和电工株式会社
Abstract: 公开了一种制造具有磁性分离的磁记录图形的磁记录介质的方法。该方法包括:在非磁性基底上形成磁性层的步骤,该磁性层包含0.5原子%到6原子%的氧化物;以及将所述磁性层中的将要彼此磁性地分离的区域暴露到反应等离子体或反应离子的步骤。所述磁性层优选具有非颗粒状结构且是面内取向型磁性层。优选地,在将所述区域暴露到反应等离子体或反应离子的步骤之后,至少进行将惰性气体施加到已经暴露到所述反应等离子体或所述反应离子的所述区域中的表面。该方法可以以高生产率制造这样的磁记录介质,该磁记录介质包括高度精确的磁记录图形并具有高电磁转换特性和高记录密度。
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公开(公告)号:CN102036797B
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN200980118131.7
申请日:2009-05-22
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: B29C33/40 , B29C59/02 , G11B5/84 , H01L21/027
CPC classification number: G11B5/855 , B29C33/3842 , B29C33/424 , Y10T428/31663
Abstract: 本发明涉及一种树脂制模制作用叠层体和使用了所述叠层体的树脂制模的制造方法。本发明的叠层体是通过使用了母模的压缩成型来制作树脂制模的叠层体,具有:相互对向的一对基体、夹在所述一对基体间的液态或凝胶状的固化性树脂材料的层、和夹在所述一对基体间的一个以上的流动制止体,所述流动制止体是所述固化性树脂材料的固化物,所述固化性树脂材料的层被一对基体以及流动制止体封入。
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公开(公告)号:CN101960559A
公开(公告)日:2011-01-26
申请号:CN200980107948.4
申请日:2009-03-06
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , G11B5/855
CPC classification number: G11B5/855 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明提供一种UV纳米压印方法,该方法是在基材上形成了包含紫外线固化性树脂的薄膜的工件上,按压在表面形成有图案的模来进行压缩成形,与所述压缩成形同时地或在所述压缩成形之后照射紫外光,将所述图案转印到所述薄膜上,该方法的特征在于,使用具有温度上升抑制单元的紫外光照射装置照射所述紫外光;所述紫外光照射装置的光源使用热射线不会与紫外光同时被连续放射的光源。
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