公开(公告)号：CN1166051A

公开(公告)日：1997-11-26

申请号：CN97110296.1

申请日：1997-03-28

Applicant: 普拉塞尔技术有限公司

Inventor： A·E·荷尔马 ,  M·M·利特温 ,  K·B·阿尔博特

IPC: H01L21/30 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/02046 ,  Y10S438/906 ,  Y10S438/974

Abstract: 本发明是一种通过在分子氯和水蒸汽气氛加热从衬底上去除如碳、金属元素等材料的方法。在优选实施例中，从Si或GaAs衬底材料的表面去除碳残留物。

公开(公告)号：CN1218180A

公开(公告)日：1999-06-02

申请号：CN98118410.3

申请日：1998-08-13

Applicant: 普拉塞尔技术有限公司

Inventor： J·B·高达尔德 ,  M·M·利特温 ,  M·H·索尼克尔 ,  A·H·马利克

IPC: G01N23/00

CPC classification number: H01J49/0422 ,  G01N33/0013 ,  H01J49/0077 ,  H01J49/0468

Abstract: 本文涉及一种从包括氢的多种气体中测定至少一种选定的气体的浓度的方法。该方法包括将至少一种选定气体用催化氧化剂转化成可测定气体,并用常压离子化质谱分析可测气体,其灵敏度小于1ppb。