公开(公告)号：CN109596572B

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：CN201811547367.X

申请日：2018-12-18

Applicant: 暨南大学

Inventor： 万磊 ,  李朝晖 ,  高社成 ,  刘伟平 ,  陈振世 ,  张辉

IPC: G01N21/47

Abstract: 本发明公开了一种气体传感器，包括基片和沉积在基片上的增益介质层；基片表面有环形沟槽。本发明还公开了一种气体传感器制备方法，具体包括如下的步骤：采用光刻刻蚀工艺在石英玻璃基片表面加工环形沟槽作为气体传感器主体；在气体传感器主体上沉积聚合物掺杂的量子点作为增益介质层，完成基于片上量子点微腔的气体传感器制作。本发明利用增益介质形变和折射率变化引起激射波长移动的传导机制测试气体浓度，其测试系统简单，易实现片上集成化、微型化，便携性强。

公开(公告)号：CN109596572A

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201811547367.X

申请日：2018-12-18

Applicant: 暨南大学

Inventor： 万磊 ,  李朝晖 ,  高社成 ,  刘伟平 ,  陈振世 ,  张辉

IPC: G01N21/47

Abstract: 本发明公开了一种气体传感器，包括基片和沉积在基片上的增益介质层；基片表面有环形沟槽。本发明还公开了一种气体传感器制备方法，具体包括如下的步骤：采用光刻刻蚀工艺在石英玻璃基片表面加工环形沟槽作为气体传感器主体；在气体传感器主体上沉积聚合物掺杂的量子点作为增益介质层，完成基于片上量子点微腔的气体传感器制作。本发明利用增益介质形变和折射率变化引起激射波长移动的传导机制测试气体浓度，其测试系统简单，易实现片上集成化、微型化，便携性强。

公开(公告)号：CN107505065A

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201710686041.4

申请日：2017-08-11

Applicant: 暨南大学

Inventor： 高社成 ,  张辉 ,  陈振世 ,  熊松松 ,  黄新成 ,  黄炳森 ,  刘伟平

IPC: G01K11/32 ,  G01D5/353 ,  G02B6/255 ,  G02B6/25

CPC classification number: G01K11/32 ,  G01D5/35312 ,  G02B6/25 ,  G02B6/2553

Abstract: 本发明公开了高阶模F-P干涉高温探针传感器的制作方法与装置。本发明采用微光纤拉锥装置和微光纤CCD切割装置，将单模光纤拉锥成微光纤过程中通过调整电位移滑块移动的速度和移动距离，能方便控制微光纤传感器探头的直径尺寸；另外，通过将CCD采集的待切割微光纤的图像数据传送至计算机，在计算机中能获得微光纤的直径尺寸并相应的确定微光纤切割刀的刀口位置，根据传感器探头所需长度，移动电位滑块的距离，切割出所需的探头长度，获得高阶模法布里-珀罗干涉高温探针传感器。本发明能精确控制微光纤的切割长度，制作出不同直径和长度的高灵敏度的高阶模法布里-珀罗干涉高温探针型传感器，具有工艺简单、成本低，效率高，重复性高、误差小等优点。

公开(公告)号：CN207649790U

公开(公告)日：2018-07-24

申请号：CN201721004595.3

申请日：2017-08-11

Applicant: 暨南大学

Inventor： 高社成 ,  张辉 ,  陈振世 ,  熊松松 ,  黄新成 ,  黄炳森 ,  刘伟平

IPC: G01K11/32 ,  G01D5/353 ,  G02B6/255 ,  G02B6/25

Abstract: 本实用新型公开了高阶模F-P干涉高温探针传感器的制作装置。该装置采用微光纤拉锥装置和微光纤CCD切割装置，将单模光纤拉锥成微光纤过程中通过调整电位移滑块移动的速度和移动距离，能方便控制微光纤传感器探头的直径尺寸；另外，通过将CCD采集的待切割微光纤的图像数据传送至计算机，在计算机中能获得微光纤的直径尺寸并相应的确定微光纤切割刀的刀口位置，根据传感器探头所需长度，移动电位滑块的距离，切割出所需的探头长度，获得高阶模法布里-珀罗干涉高温探针传感器。本实用新型能精确控制微光纤的切割长度，制作出不同直径和长度的高灵敏度的高阶模法布里-珀罗干涉高温探针型传感器，具有工艺简单、成本低，效率高，重复性高、误差小等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利