公开(公告)号：CN100434862C

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：CN200610123674.6

申请日：2006-11-21

Applicant: 暨南大学

Inventor： 钟金钢 ,  琚志祥

IPC: G01B11/26 ,  G01D5/26

Abstract: 本发明涉及基于激光自混合干涉的微小角度测量方法及装置，将激光器输出的激光束入射到设置于被测物体表面的反射镜，入射线偏离被测物体的角度旋转中心，激光器的输出功率用一光电探测器进行监测，当被测物体发生微小角度旋转时，光电探测器监测到的激光器输出功率将随着角度的变化而变化，角度的变化引起的回馈光的光程每变化半个激光波长，输出激光功率变化一个条纹周期，通过预先定标好的角度和输出功率间的对应关系，来实现对被测物体旋转角度的测量。该测量装置结构简单、紧凑，测量精度高。

公开(公告)号：CN1963384A

公开(公告)日：2007-05-16

申请号：CN200610123674.6

申请日：2006-11-21

Applicant: 暨南大学

Inventor： 钟金钢 ,  琚志祥

IPC: G01B11/26 ,  G01D5/26

Abstract: 本发明涉及基于激光自混合干涉的微小角度测量方法及装置，将激光器输出的激光束入射到设置于被测物体表面的反射镜，入射线偏离被测物体的角度旋转中心，激光器的输出功率用一光电探测器进行监测，当被测物体发生微小角度旋转时，光电探测器监测到的激光器输出功率将随着角度的变化而变化，角度的变化引起的回馈光的光程每变化半个激光波长，输出激光功率变化一个条纹周期，通过预先定标好的角度和输出功率间的对应关系，来实现对被测物体旋转角度的测量。该测量装置结构简单、紧凑，测量精度高。