公开(公告)号：CN103663404A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310284470.0

申请日：2013-07-08

Applicant: 曼瑟森三汽油公司

Inventor： 葛蓝·米歇尔 ,  拉酷玛·萨布拉玛里昂 ,  盖里·L·卫斯 ,  罗伯特·托雷斯二世

IPC: C01B31/00 ,  H01L21/3065

CPC classification number: B01J19/087 ,  B01J19/081 ,  B01J19/088 ,  B01J19/123 ,  B01J19/125 ,  B01J19/126 ,  B01J19/127 ,  B01J19/128 ,  B01J19/129 ,  B01J2219/0883 ,  B01J2219/0892 ,  C01B31/00 ,  C01B32/00 ,  C01B32/80 ,  C23C16/4405 ,  H01L21/31116 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605

Abstract: 本发明的题目是原位产生碳酰氟化物或其任何变异体的分子蚀刻剂的方法及其应用。根据本发明，分子蚀刻剂碳酰氟化物COF2被提供以作为增加蚀刻和/或清洁和/或移除材料的效率。本发明的方法涉及激发与维持一电浆，无论其是远程或原位，藉由逐步方式加入添加物，例如但不限于，饱和、不饱和、或部分不饱和且具有分子式CyFz的全氟碳化合物和/或碳氧化物（COx）至三氟化氮电浆，进入化学气相沉积腔室之中，进而产生碳酰氟化物COF2。三氟化氮可在化学气相沉积腔室中的电浆中进行激发，或是在距化学气相沉积腔室上游的一电浆远程区域内进行激发。添加物可于远程电浆的上游或下游进行导入，使得在清洁时，三氟化氮与添加物均存在于化学气相沉积腔室中。