公开(公告)号：CN220189556U

公开(公告)日：2023-12-15

申请号：CN202321439156.0

申请日：2023-06-07

Applicant: 有研(广东)新材料技术研究院 ,  有研工程技术研究院有限公司

Inventor： 张烁 ,  曹瑞军 ,  李腾飞 ,  吴世玲 ,  何盛亚 ,  张烁航 ,  史植广 ,  杨剑 ,  林中坤

IPC: H01L21/60

Abstract: 本实用新型公开了一种楔形粗丝劈刀，属于微电子键合装备领域，该劈刀包括刀柄和刀头，刀头上设置有V型槽，V型槽的夹角顶点处设置有圆角面，V型槽的夹角两条边上设置有斜切面，圆角面连接在两个斜切面之间，圆角面和斜切面均向V型槽的外侧平滑过渡，V型槽上覆盖有耐磨层，圆角面之上的耐磨层厚于斜切面上的耐磨层，此耐磨层能适应V型槽不同部位在键合时的实际工况，以平滑向外过渡的圆角面和斜切面接受耐磨层覆盖，减少耐磨层应力集中，使耐磨层与V型槽的结合力更好，不易脱落，有利于降低键合面在键合过程中的磨损，可提高劈刀的使用寿命与键合稳定性，提高封装效率，降低封装成本。

公开(公告)号：CN220829928U

公开(公告)日：2024-04-23

申请号：CN202322361912.9

申请日：2023-08-31

Applicant: 有研(广东)新材料技术研究院 ,  有研工程技术研究院有限公司

Inventor： 张烁 ,  曹瑞军 ,  李腾飞 ,  吴世玲 ,  何盛亚 ,  张烁航 ,  杨剑 ,  史殖广 ,  林中坤

IPC: H01L21/60

Abstract: 本申请涉及半导体封装技术领域，具体而言，涉及一种低摩擦楔形粗丝劈刀，包括由碳化钨材料制成的劈刀主体，劈刀主体包括刀柄和刀头，刀柄靠近刀头一端设置有多个过渡面，刀头的基体表面设置有膜层，膜层包括梯度过渡层和耐磨层，梯度过渡层设置在刀头的基体表面和耐磨层之间；耐磨层比碳化钨具有更低的摩擦系数与更强的耐磨能力，降低了刀头的磨损速度，减少劈刀的清洗次数，提高劈刀的使用寿命；梯度过渡层用于提高耐磨层与刀头的基体之间的结合力，有效提高耐磨层与刀头的基体之间的结合力。