公开(公告)号：CN103911643B

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201310653292.4

申请日：2013-12-05

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 石洪 ,  施范章 ,  布莱恩·麦科米林 ,  约翰·多尔蒂 ,  方言 ,  杜安·奥特卡 ,  黄拓川 ,  斯瓦卡米·拉马纳坦

IPC: C25D11/18 ,  C25D11/24

CPC classification number: B08B7/04 ,  B08B7/0021 ,  B08B7/028 ,  B24C1/003 ,  H01L21/67051

Abstract: 本发明提供了一种湿洗铝腔室部件的方法，也即湿洗铝部件的方法，该铝部件具有裸铝表面和阳极氧化的铝表面。该方法包含：以约35至约45psi向铝部件的表面喷射CO2干冰；遮蔽铝部件以隐藏裸铝表面；将被喷射干冰并被遮蔽的铝部件浸泡在约60℃或约60℃以上的去离子水中；在完成在去离子水中的浸泡后，用研磨垫和去离子水擦洗铝部件；以及以所列举的顺序重复所述浸泡和擦洗至少附加的3次。

公开(公告)号：CN102362342B

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201080012833.X

申请日：2010-03-16

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 布莱恩·麦科米林 ,  约瑟·V·唐 ,  耶-库恩·维克特·王

IPC: H01L21/687 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01J37/32788 ,  H01L21/68742

Abstract: 本发明提供了一种通过减少在衬底脱离期间电势峰值从ESC移走衬底的等离子体处理室的衬底脱离系统。

公开(公告)号：CN104025246A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201280054675.3

申请日：2012-10-19

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 米尔扎弗·阿巴查夫 ,  卡梅利娅·鲁苏 ,  布莱恩·麦科米林

IPC: H01J37/02 ,  F16K3/02

CPC classification number: F16K3/0209 ,  H01J37/32816 ,  H01J37/32834 ,  H01L21/30655 ,  Y10T137/7837

Abstract: 一种压强控制阀总成包括具有入口、出口和导管的壳体；入口连接到等离子体处理室的内部且出口连接到真空泵。在其中具有第一组平行槽的固定开槽阀板被固定在导管中使得从室排出进入导管的气体穿过第一组平行槽。在其中具有第二组平行槽的可移动开槽阀板相对于固定开槽阀板可移动以便调整室中的压强。附着到可移动开槽阀板的驱动机构在第一和第二位置之间快速移动可移动开槽阀板以使室中的压强从较高的压强改变到较低的压强或者从较低的压强改变到较高的压强。

公开(公告)号：CN102362342A

公开(公告)日：2012-02-22

申请号：CN201080012833.X

申请日：2010-03-16

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 布莱恩·麦科米林 ,  约瑟·V·唐 ,  耶-库恩·维克特·王

IPC: H01L21/687 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01J37/32788 ,  H01L21/68742

Abstract: 本发明提供了一种通过减少在衬底脱离期间电势峰值从ESC移走衬底的等离子体处理室的衬底脱离系统。

公开(公告)号：CN104025246B

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201280054675.3

申请日：2012-10-19

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 米尔扎弗·阿巴查夫 ,  卡梅利娅·鲁苏 ,  布莱恩·麦科米林

IPC: H01J37/02 ,  F16K3/02

CPC classification number: F16K3/0209 ,  H01J37/32816 ,  H01J37/32834 ,  H01L21/30655 ,  Y10T137/7837

Abstract: 一种压强控制阀总成包括具有入口、出口和导管的壳体；入口连接到等离子体处理室的内部且出口连接到真空泵。在其中具有第一组平行槽的固定开槽阀板被固定在导管中使得从室排出进入导管的气体穿过第一组平行槽。在其中具有第二组平行槽的可移动开槽阀板相对于固定开槽阀板可移动以便调整室中的压强。附着到可移动开槽阀板的驱动机构在第一和第二位置之间快速移动可移动开槽阀板以使室中的压强从较高的压强改变到较低的压强或者从较低的压强改变到较高的压强。

公开(公告)号：CN103911643A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201310653292.4

申请日：2013-12-05

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 石洪 ,  施范章 ,  布莱恩·麦科米林 ,  约翰·多尔蒂 ,  方言 ,  杜安·奥特卡 ,  黄拓川 ,  斯瓦卡米·拉马纳坦

IPC: C25D11/18 ,  C25D11/24

CPC classification number: B08B7/04 ,  B08B7/0021 ,  B08B7/028 ,  B24C1/003 ,  H01L21/67051

Abstract: 本发明提供了一种湿洗铝腔室部件的方法，也即湿洗铝部件的方法，该铝部件具有裸铝表面和阳极氧化的铝表面。该方法包含：以约35至约45psi向铝部件的表面喷射CO2干冰；遮蔽铝部件以隐藏裸铝表面；将被喷射干冰并被遮蔽的铝部件浸泡在约60℃或约60℃以上的去离子水中；在完成在去离子水中的浸泡后，用研磨垫和去离子水擦洗铝部件；以及以所列举的顺序重复所述浸泡和擦洗至少附加的3次。