公开(公告)号：CN217387074U

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202220250952.9

申请日：2022-02-07

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 尚-I·周 ,  王丹丹 ,  乔瓦尼·保罗·加尤多 ,  盖理·格拉格 ,  罗伯特·奥尼尔

IPC: H01J37/21 ,  H01J37/09

Abstract: 一种被配置为布置在衬底处理室中的底部环上方的宽覆盖边缘环包括：上表面；下表面，其包括下表面台阶，所述下表面台阶从所述下表面向下延伸，并且被配置为被容纳在至少部分地由所述底部环的上表面和室衬里的内表面限定的凹部内并与所述凹部对接；内径，所述边缘环的所述内径中限定有凸台；以及外径。所述边缘环的所述外径包括从所述边缘环径向向外延伸并在所述外径中限定向内台阶的突出部，所述突出部和所述向内台阶被配置成与所述室衬里的上端对接，并且，所述突出部被配置为至少部分地在所述室衬里的所述上端上方延伸。

公开(公告)号：CN308685706S

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202330190030.3

申请日：2023-04-10

Applicant: 朗姆研究公司

Designer： 周尚艺 ,  王丹丹 ,  乔瓦尼·保罗·加尤多 ,  盖理·格拉格 ,  罗伯特·奥尼尔

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于增强衬底处理系统屏蔽性的底环的主体。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品作为一种用于增强衬底处理系统屏蔽性的底环，是在衬底处理系统中用于增强屏蔽的宽覆盖边缘环的设计。
3.本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状、图案及其结合。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.其他需要说明的情形其他说明：本申请位局部外观，虚线或断线表示其他部分，实线构成要求保护的局部。
本外观设计产品的剖视图是沿A‑A的剖视图，后视图和右视图与主视图和左视图相同而省略。