滚筒研磨装置以及滚筒研磨方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115106922A

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN202210187176.7

    申请日:2022-02-28

    Abstract: 本发明提供一种滚筒研磨装置以及滚筒研磨方法。在滚筒研磨装置(40A、40B)以及滚筒研磨方法中,在滚筒研磨之后将具有比工件(20)小且比介质(22)大的网孔(42)的网(44)设置于滚筒槽(14)的内表面(14i)与旋转轴(12)之间。在此之后,通过使滚筒槽(14)旋转且使介质(22)通过网孔(42)来使工件(20)与介质(22)分离。分离后的工件(20)被从滚筒槽(14)的第2开口(16b)取出。据此,工件与介质不会发生不必要的接触,能防止工件被介质损伤。

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