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公开(公告)号：CN113514598A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110710266.5
申请日：2021-06-25
Applicant: 杭州谱育科技发展有限公司
Abstract: 本发明提供了半导体行业洁净室内空气监测系统及方法，半导体行业洁净室内空气监测系统包括标液提供装置和检测装置；富集装置包括：多个管道的进口端分别设置在不同的洁净室内，出口端连通密闭容器；密闭容器的出口选择性地连通大气和抽气单元；液体提供单元用于提供吸收所述洁净室内待测成分的液体，并输送到所述密闭容器内，排废单元用于排出所述密闭容器内的液体；第一流路切换模块用于使所述密闭容器选择性地连通任一个洁净室；进样装置包括：第二流路切换模块用于使第一多通阀的端口选择性地连通所述标液提供装置和所述密闭容器；定量单元和检测装置分别连通第一多通阀的端口。本发明具有富集与检测同步进行、分析效率高，实时性好等优点。
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公开(公告)号：CN113740409B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202110939257.3
申请日：2021-08-16
Applicant: 杭州谱育科技发展有限公司
Abstract: 本发明提供了基于加标技术的痕量元素检测装置和方法，所述基于加标技术的痕量元素检测装置包括分析单元和第一管道，待测物穿过所述第一管道进入所述分析单元；还包括：标记物施加单元用于向所述第一管道内的待测物中添加标记物；速度传感器用于检测所述第一管道内标记物的速度而获得所述待测物的进样速度；第二管道的一端连通处于所述分析单元和速度传感器之间的第一管道，另一端连通输送单元；输送单元用于以不同的加标速度推送标液，标液从所述第二管道进入第一管道。本发明具有检测精度高、自动化等优点。
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公开(公告)号：CN113514598B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202110710266.5
申请日：2021-06-25
Applicant: 杭州谱育科技发展有限公司
Abstract: 本发明提供了半导体行业洁净室内空气监测系统及方法，半导体行业洁净室内空气监测系统包括标液提供装置和检测装置；富集装置包括：多个管道的进口端分别设置在不同的洁净室内，出口端连通密闭容器；密闭容器的出口选择性地连通大气和抽气单元；液体提供单元用于提供吸收所述洁净室内待测成分的液体，并输送到所述密闭容器内，排废单元用于排出所述密闭容器内的液体；第一流路切换模块用于使所述密闭容器选择性地连通任一个洁净室；进样装置包括：第二流路切换模块用于使第一多通阀的端口选择性地连通所述标液提供装置和所述密闭容器；定量单元和检测装置分别连通第一多通阀的端口。本发明具有富集与检测同步进行、分析效率高，实时性好等优点。
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公开(公告)号：CN113740409A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202110939257.3
申请日：2021-08-16
Applicant: 杭州谱育科技发展有限公司
Abstract: 本发明提供了基于加标技术的痕量元素检测装置和方法，所述基于加标技术的痕量元素检测装置包括分析单元和第一管道，待测物穿过所述第一管道进入所述分析单元；还包括：标记物施加单元用于向所述第一管道内的待测物中添加标记物；速度传感器用于检测所述第一管道内标记物的速度而获得所述待测物的进样速度；第二管道的一端连通处于所述分析单元和速度传感器之间的第一管道，另一端连通输送单元；输送单元用于以不同的加标速度推送标液，标液从所述第二管道进入第一管道。本发明具有检测精度高、自动化等优点。
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