公开(公告)号：CN113544495B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202080019379.4

申请日：2020-01-28

Applicant: 杰富意钢铁株式会社

Inventor： 腰原敬弘 ,  铃木克一 ,  仲裕介 ,  梅垣嘉之 ,  剑持光俊

IPC: G01N21/89 ,  G01N21/892

Abstract: 包含：入射步骤，使偏振光入射到被检查面；受光步骤，利用两个以上的受光单元以两种以上的不同的检偏角分别接收所入射的偏振光在被检查面上反射的反射光；图像信号获取步骤，从由受光单元接收的反射光针对每个受光单元获取表示被检查面的像的图像信号；代表值计算步骤，根据图像信号，针对每个受光单元计算各图像信号的代表值；以及判定步骤，根据针对每个受光单元计算出的代表值，判定被检查面的化学转化处理膜的有无，在图像信号获取步骤与代表值计算步骤之间不进行增益调节步骤的情况下，在代表值计算步骤中，进行根据图像信号的强度求出代表值的处理，在图像信号获取步骤与代表值计算步骤之间进行增益调节步骤的情况下，在代表值计算步骤中，进行根据增益求出代表值的处理。

公开(公告)号：CN113544495A

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202080019379.4

申请日：2020-01-28

Applicant: 杰富意钢铁株式会社

Inventor： 腰原敬弘 ,  铃木克一 ,  仲裕介 ,  梅垣嘉之 ,  剑持光俊

IPC: G01N21/89 ,  G01N21/892

Abstract: 包含：入射步骤，使偏振光入射到被检查面；受光步骤，利用两个以上的受光单元以两种以上的不同的检偏角分别接收所入射的偏振光在被检查面上反射的反射光；图像信号获取步骤，从由受光单元接收的反射光针对每个受光单元获取表示被检查面的像的图像信号；代表值计算步骤，根据图像信号，针对每个受光单元计算各图像信号的代表值；以及判定步骤，根据针对每个受光单元计算出的代表值，判定被检查面的化学转化处理膜的有无，在图像信号获取步骤与代表值计算步骤之间不进行增益调节步骤的情况下，在代表值计算步骤中，进行根据图像信号的强度求出代表值的处理，在图像信号获取步骤与代表值计算步骤之间进行增益调节步骤的情况下，在代表值计算步骤中，进行根据增益求出代表值的处理。