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公开(公告)号:CN111630367A
公开(公告)日:2020-09-04
申请号:CN201880086625.0
申请日:2018-12-17
Applicant: 杰富意钢铁株式会社
IPC: G01N21/21 , G01N21/3563
Abstract: 受光部(3)具备:偏振光分离部(32),将反射光分离成S偏振光和P偏振光;S偏振光检测部(34),检测由偏振光分离部(32)分离出的S偏振光,将表示检测到的S偏振光的强度的电信号向输出部(4)输出;及P偏振光检测部(33),检测由偏振光分离部(32)分离出的P偏振光,将表示检测到的P偏振光的强度的电信号向输出部(4)输出。输出部(4)使用从S偏振光检测部(34)及P偏振光检测部(33)输出的电信号,根据S偏振光与P偏振光的强度比来算出吸光度,使用任意的波数下的吸光度的强度来算出测定对象物P的表面的组成及/或组成比。
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公开(公告)号:CN111630367B
公开(公告)日:2023-03-14
申请号:CN201880086625.0
申请日:2018-12-17
Applicant: 杰富意钢铁株式会社
IPC: G01N21/21 , G01N21/3563
Abstract: 受光部(3)具备:偏振光分离部(32),将反射光分离成S偏振光和P偏振光;S偏振光检测部(34),检测由偏振光分离部(32)分离出的S偏振光,将表示检测到的S偏振光的强度的电信号向输出部(4)输出;及P偏振光检测部(33),检测由偏振光分离部(32)分离出的P偏振光,将表示检测到的P偏振光的强度的电信号向输出部(4)输出。输出部(4)使用从S偏振光检测部(34)及P偏振光检测部(33)输出的电信号,根据S偏振光与P偏振光的强度比来算出吸光度,使用任意的波数下的吸光度的强度来算出测定对象物P的表面的组成及/或组成比。
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