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公开(公告)号：CN108112263B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201680002015.9
申请日：2016-07-04
Applicant: 松下半导体解决方案株式会社
IPC: G01N27/12 , B60L58/30 , G01N27/04 , G01N27/416 , H01M8/0444
Abstract: 本发明的一方式涉及一种气体传感器，其用于检测气体中含有的、且包含氢原子的气体分子，其中，所述气体传感器包括：第1电极，其具有第1主面、和第1主面的相反侧的第2主面；第2电极，其具有与第1电极的第2主面相对置的第3主面、和第3主面的相反侧的第4主面；金属氧化物层，其配置于第1电极和第2电极之间，且与第1电极的第2主面和第2电极的第3主面接触；以及绝缘膜，其覆盖第1电极的至少一部分、第2电极的一部分和金属氧化物层的至少一部分；其中，第2电极的第4主面的至少一部分不被绝缘膜覆盖而在气体中露出，金属氧化物层具有通过第2电极与气体分子接触而使电阻值降低的特性。
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