阀单元和流体控制薄片
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1726348A

    公开(公告)日:2006-01-25

    申请号:CN200380106204.3

    申请日:2003-10-09

    Abstract: 一种阀单元和一种流体控制薄片,包括:一个具有流体入口和出口的腔室(8);一个容纳在所述腔室中的阀元件(3);一个用来将振动施加给阀腔室的压电元件(4):和一个用来驱动所述压电元件的驱动器,其中,所述压电元件通过改变施加到所述阀腔室的振动的频率和/或振幅,并通过借助于变化振动改变所述阀元件的振幅,来改变开口。

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