公开(公告)号：CN1771611A

公开(公告)日：2006-05-10

申请号：CN200580000228.X

申请日：2005-02-21

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 友泽淳 ,  藤井映志 ,  乌井秀雄

IPC: H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22

Abstract: 本发明公开了一种压电体元件、喷墨头、角速度传感器、它们的制造方法及喷墨式记录装置。压电体元件，包括：两个电极膜、和被这些电极膜夹着的由(111)面优先取向的两层压电体薄膜构成的压电体层叠膜。两层压电体薄膜，为彼此连续相接的柱状粒子的集合体。第2压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径大于第1压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径。压电体层叠膜的厚度与第2压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径的比大于等于20小于等于60。

公开(公告)号：CN100570918C

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200580000228.X

申请日：2005-02-21

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 友泽淳 ,  藤井映志 ,  乌井秀雄

IPC: H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22

Abstract: 本发明公开了一种压电体元件、喷墨头、角速度传感器、它们的制造方法及喷墨式记录装置。压电体元件，包括：两个电极膜、和被这些电极膜夹着的由(111)面优先取向的两层压电体薄膜构成的压电体层叠膜。两层压电体薄膜，为彼此连续相接的柱状粒子的集合体。第2压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径大于第1压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径。压电体层叠膜的厚度与第2压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径的比大于等于20小于等于60。