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公开(公告)号:CN103733366B
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201280038771.9
申请日:2012-08-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/047 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/047 , H01L41/0478 , H01L41/081 , H01L41/0815 , H01L41/1876
Abstract: 本发明涉及一种压电体元件,其具有基板、下部电极层、压电体层和上部电极层。在基板上固定下部电极层,在下部电极层上形成压电体层。在压电体层上形成上部电极层。下部电极层内含气孔,并且下部电极层的热膨胀系数比压电体层的热膨胀系数大。
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公开(公告)号:CN103733366A
公开(公告)日:2014-04-16
申请号:CN201280038771.9
申请日:2012-08-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/047 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/047 , H01L41/0478 , H01L41/081 , H01L41/0815 , H01L41/1876
Abstract: 本发明涉及一种压电体元件,其具有基板、下部电极层、压电体层和上部电极层。在基板上固定下部电极层,在下部电极层上形成压电体层。在压电体层上形成上部电极层。下部电极层内含气孔,并且下部电极层的热膨胀系数比压电体层的热膨胀系数大。
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