气体激光振荡装置及激光气体置换方法

    公开(公告)号:CN103430403B

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201380000871.7

    申请日:2013-01-17

    CPC classification number: H01S3/036 H01S3/041 H01S3/073

    Abstract: 本发明提供一种气体激光振荡装置,其具备:以被减压成大气压以下的压力的状态封入真空腔室中的激光气体;激发激光气体的放电机构;对激光气体进行鼓风的鼓风机构;形成放电机构与鼓风机构之间的激光气体的循环路径的激光气体路径;从激光气体路径排出规定量的激光气体的气体减压机构。气体减压机构应用伯努利原理,且气体减压机构具备利用在激光加工机或者气体激光振荡装置中使用的加压状态的气体的一部分而使混入激光气体中的大气的比例降低为规定以下的程序。

    气体激光振荡装置及激光气体置换方法

    公开(公告)号:CN103430403A

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201380000871.7

    申请日:2013-01-17

    CPC classification number: H01S3/036 H01S3/041 H01S3/073

    Abstract: 本发明提供一种气体激光振荡装置,其具备:以被减压成大气压以下的压力的状态封入真空腔室中的激光气体;激发激光气体的放电机构;对激光气体进行鼓风的鼓风机构;形成放电机构与鼓风机构之间的激光气体的循环路径的激光气体路径;从激光气体路径排出规定量的激光气体的气体减压机构。气体减压机构应用伯努利原理,且气体减压机构具备利用在激光加工机或者气体激光振荡装置中使用的加压状态的气体的一部分而使混入激光气体中的大气的比例降低为规定以下的程序。

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