公开(公告)号：CN1335641A

公开(公告)日：2002-02-13

申请号：CN01123311.7

申请日：2001-06-12

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 小仓洋 ,  桥立雄二 ,  矢岛浩义 ,  吉田善一

IPC: H01L21/48 ,  H01L21/60 ,  C03C23/00 ,  C03C17/00 ,  H05K1/11

CPC classification number: H05K3/0029 ,  B23K26/0624 ,  C03C17/28 ,  C03C17/32 ,  C03C23/0025 ,  H01P11/003 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49156 ,  Y10T29/49165

Abstract: 在使用激光玻璃衬底的加工方法中,要做到可与大量生产对应,可以作为高频电路,特别是微波和毫米波段用的高频电路衬底,应用介电常数低,介质损耗也小的玻璃衬底。因此,制备通过在玻璃中任意地控制气泡量提高衬底自身加工性的玻璃衬底,加工玻璃衬底时多次照射脉冲激光,达到对玻璃衬底加工形状的改善的作用。一般难以加工的玻璃衬底也能容易地应用于高频电路制造,并可以为广大社会提供高性能的电路和装置。