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公开(公告)号：CN1267837A
公开(公告)日：2000-09-27
申请号：CN00104353.6
申请日：2000-03-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G02F1/133
CPC classification number: G02F1/136227
Abstract: 一种制造诸如在液晶显示器件中作显示板用的有源元件阵列衬底的工艺。该工艺包括把感光树脂曝光于来自衬底背面的辐射光以及从衬底正面所加的另一辐射光。来自衬底正面的辐射光使包围在从漏极的一部分上延伸到靠近源极和栅极的基本上所有象素电极的区域进行曝光。这样,在曝光于来自背面的光期间即使在衬底背面上存在划痕或灰尘时,也可使感光树脂曝光于来自正面的光。因而,增加了制造这种有源元件阵列衬底的成品率。
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