公开(公告)号：CN1319177C

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN00814428.1

申请日：2000-10-19

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 田中宏典 ,  筒博司

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/336 ,  G02F1/1368

Abstract: 在液晶显示装置用的大型衬底中，防止栅绝缘膜的微裂纹的产生，抑制衬底的翘曲。为此，使在玻璃衬底上配置的多个薄膜晶体管的栅绝缘膜的位于栅线层正下部的部分比其它部分厚1.5nm～4nm。

公开(公告)号：CN1379914A

公开(公告)日：2002-11-13

申请号：CN00814428.1

申请日：2000-10-19

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 田中宏典 ,  筒博司

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/336 ,  G02F1/1368

Abstract: 在液晶显示装置用的大型衬底中,防止栅绝缘膜的微裂纹的产生,抑制衬底的翘曲。为此,使在玻璃衬底上配置的多个薄膜晶体管的栅绝缘膜的位于栅线层正下部的部分比其它部分略厚。