固态图像传感器
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100407434C

    公开(公告)日:2008-07-30

    申请号:CN200510065266.5

    申请日:2005-04-15

    Abstract: 本发明提供了一种固态图像传感器,其包括具有多个象素的半导体衬底1,并且每个象素包括杂质层2、光电转换层4、读出区域5和栅电极7。该杂质层2包括与位于栅电极7下紧挨栅电极7的衬底1的一部分相邻的邻接部分。该邻接部分包括沿栅极的宽度方向排列的子部分2a、2b和2c,所述栅极的宽度方向与信号电荷的输运方向以及衬底的厚度方向垂直。包含该邻接部分的中心的子部分2a中的杂质浓度低于子部分2b和2c中的杂质浓度。

    固态成像装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1697192A

    公开(公告)日:2005-11-16

    申请号:CN200510009599.6

    申请日:2005-02-24

    Abstract: 在半导体衬底(10)的主表面中形成光电二极管(20a、20b)。光电二极管(20a)包括P+型半导体层(22a)和电荷积累部分(21a),光电二极管(20b)包括P+型半导体层(22b)和电荷积累部分(21b)。光电二极管(20a和20b)由具有STI结构的元件隔离部分(33a)分开。构成光电二极管(20a和20b)的电荷积累部分(21a和21b)的底部位于到半导体衬底(10)的主表面比到元件隔离部分(33a)的底部更深的位置上。这样,可以提供一种固态成像装置,其中可以防止色彩混合并且电荷积累部分的容量大,并且灵敏性和饱和特性优异。

    固态图像传感器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1684269A

    公开(公告)日:2005-10-19

    申请号:CN200510065266.5

    申请日:2005-04-15

    Abstract: 本发明提供了一种固态图像传感器,其包括具有多个象素的半导体衬底1,并且每个象素包括杂质层2、光电转换层4、读出区域5和栅电极7。该杂质层2包括与位于栅电极7下紧挨栅电极7的衬底1的一部分相邻的邻接部分。该邻接部分包括沿栅极的宽度方向排列的子部分2a、2b和2c,所述栅极的宽度方向与信号电荷的输运方向以及衬底的厚度方向垂直。包含该邻接部分的中心的子部分2a中的杂质浓度低于子部分2b和2c中的杂质浓度。

    固体摄像装置及制造方法、行间传输型CCD成像传感器

    公开(公告)号:CN100461434C

    公开(公告)日:2009-02-11

    申请号:CN200410005888.4

    申请日:2004-02-20

    CPC classification number: H01L27/14601 H01L27/14806 H01L27/14843

    Abstract: 提供一种即使电源电压低、也可以完全传输光电二极管中存储的信号电荷的固体摄像装置。固体摄像装置,包括:配置在半导体基片上的多个像素单元;以及,为驱动各像素单元而设置的驱动单元;其中的各像素单元(13)包括:把入射光转换成信号电荷而存储的光电二极管(5);为读取光电二极管(5)中存储的信号电荷而设置的传输晶体管(6);以及,为使从光电二极管(5)到传输晶体管(6)为止的电位平滑变化而形成的电位平滑化层(1)。

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