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公开(公告)号：CN1142587C
公开(公告)日：2004-03-17
申请号：CN97190606.8
申请日：1997-04-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/822 , H01L27/04 , H01L27/108 , H01L21/8242
CPC classification number: H01L27/11502 , H01L27/10805
Abstract: 本发明的目的是在具有强电介质电容器的半导体器件中，减小强电介质电容器的特性离散，且把该强电介质电容器的特性变动，即把时间的流驶所伴生的特性退化抑制为很小。本方案是：用具有以沿第1方向D1延伸并与该第1方向垂直的第2方向D2为宽度方向的平面形状的下部电极111a，在该下部电极111a上边被配置为相向的多个上部电极112a，和配置在该两电极间的强电介质层，构成强电介质电容器110a，且把该上部电极112a的平面形状做成为上述第1方向D1上的尺寸比上述第2方向上的尺寸小的形状。
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