具有侧面电极的电子元件和其制造方法及使用了该电子元件的设备

    公开(公告)号:CN1697318A

    公开(公告)日:2005-11-16

    申请号:CN200510065056.6

    申请日:2005-04-05

    Abstract: 一种电子元件的制造方法,准备在表面形成有凹部的薄膜,该凹部具有第1部分和与该第1部分连接且比第1部分深的第2部分,将导电膏充填于薄膜的凹部,使导电膏的第1部分和第2部分分别充填于凹部的第1部分和第2部分。然后将薄膜的表面贴附在基板表面上。将薄膜从基板上剥离,将导电膏转印在基板的表面上,从而使导电膏的第1和第2部分转印到基板的表面上。分别对转印后导电膏的转印后的第1和第2部分进行烧成,得到导体图形的第1部分和第2部分。在导体图形上形成绝缘层,然后沿通过导体图形的第2部分的边界部切割基板、绝缘层和导体图形,从而分割成多个子基板,得到电子元件。通过该方法,电子元件在分割基板时形成侧面电极。

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