异物检查方法及装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1104643C

    公开(公告)日:2003-04-02

    申请号:CN96107118.4

    申请日:1996-06-27

    CPC classification number: G01N21/94

    Abstract: 本发明的异物检查方法和装置的目的在于,提高异物所发检测光的光强,加大异物和噪声的分辨比,高精度地检测异物。其特征在于,对于检查对象1的检查面1a成S偏振的光束13,以大致平行于所述检查对象1的检查面1a的轴为光轴照射检查面,在与检查面1a所成的交角α为锐角,并且与上述光束的光轴的间的方位角φ在30度以内的光轴上,将上述光束引起的反射光和散射光中的对检查面1a成P偏振的成分18作为异物检测。

    异物检查方法及装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1150648A

    公开(公告)日:1997-05-28

    申请号:CN96107118.4

    申请日:1996-06-27

    CPC classification number: G01N21/94

    Abstract: 本发明的异物检查方法和装置的目的在于,提高异物所发检测光的光强,加大异物和噪声的分辨比,高精度地检测异物。其特征在于,对于检查对象1的检查面1a成S偏振的光束13,以大致平行于所述检查对象1的检查面1a的轴为光轴照射检查面,在与检查面1a所成的交角α为锐角,并且与上述光束的光轴的间的方位角ф在30度以内的光轴上,将上述光束引起的反射光和散射光中的对检查面1a成P偏振的成分18作为异物检测。

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