公开(公告)号：CN107835792A

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：CN201680041101.0

申请日：2016-09-12

Applicant: 栗田工业株式会社

Inventor： 森田博志 ,  加藤俊正 ,  星重行

IPC: C02F1/42 ,  B01J39/04 ,  B01J41/04 ,  B01J47/12 ,  C02F1/44 ,  C02F1/62 ,  H01L21/304

CPC classification number: B01J39/04 ,  B01J41/04 ,  B01J47/12 ,  C02F1/42 ,  C02F1/444 ,  C02F1/62 ,  C02F2101/20 ,  C02F2103/04 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67057

Abstract: 本发明提供一种金属污染防止剂，其含有分子量10万以上的聚苯乙烯磺酸等具有离子交换基的聚合物，其可减少产品清洗用的超纯水中微量金属的附着性，抑制清洗对象的金属污染。该具有离子交换基的聚合物是以离子交换反应吸附超纯水中的微量金属而抑制其附着于制品。本发明还提供一种用添加有该金属污染防止剂的超纯水清洗制品的制品清洗方法。优选为使添加有金属污染防止剂的超纯水流过分离膜组件，用膜透过水清洗制品。

公开(公告)号：CN102549722B

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201080045034.2

申请日：2010-09-28

Applicant: 栗田工业株式会社

Inventor： 水庭哲夫 ,  星重行

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/02052

Abstract: 本发明提供一种不需要烦琐的操作，以相对简单的操作，即使在晶片洗净时所使用的超纯水中存在有ng/L(ppt)等级的金属离子，也不会使晶片表面被金属元素污染的晶片的洗净技术；将与金属离子具有亲和性的物质添加于超纯水中形成的晶片用洗净水；使用该晶片用洗净水的晶片的洗净方法。通过在晶片洗净用超纯水中预先添加与金属离子具有亲和性的物质，该物质在超纯水中捕捉金属离子并使其稳定存在于水中，由此，可有效防止在洗净时向晶片表面移动而附着在晶片表面上。

公开(公告)号：CN102549722A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201080045034.2

申请日：2010-09-28

Applicant: 栗田工业株式会社

Inventor： 水庭哲夫 ,  星重行

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/02052

Abstract: 本发明提供一种不需要烦琐的操作，以相对简单的操作，即使在晶片洗净时所使用的超纯水中存在有ng/L(ppt)等级的金属离子，也不会使晶片表面被金属元素污染的晶片的洗净技术；将与金属离子具有亲和性的物质添加于超纯水中形成的晶片用洗净水；使用该晶片用洗净水的晶片的洗净方法。通过在晶片洗净用超纯水中预先添加与金属离子具有亲和性的物质，该物质在超纯水中捕捉金属离子并使其稳定存在于水中，由此，可有效防止在洗净时向晶片表面移动而附着在晶片表面上。

公开(公告)号：CN118019975A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202280065820.1

申请日：2022-09-07

Applicant: 栗田工业株式会社 ,  国立大学法人熊本大学

Inventor： 星重行 ,  加藤俊正 ,  福井长雄 ,  大平慎一 ,  户田敬

IPC: G01N33/18

Abstract: 一种纯水中的离子成分的分析方法，其对试样超纯水进行浓缩并通过分析机构进行分析，其特征在于，通过电透析装置对试样超纯水进行浓缩。电透析装置是第二电透析装置(20)，向第一生成室(27)通入试样超纯水，向第二生成室(28)通入高纯度硝酸水溶液，自第二生成室(28)取出分析用浓缩水。通入至第二生成室(28)的高纯度硝酸水溶液是利用第一电透析装置(10)对硝酸钾水溶液进行透析处理而生成。