公开(公告)号：CN102216226A

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN200980146183.5

申请日：2009-10-21

Applicant: 栗田工业株式会社

Inventor： 安池友时 ,  根本笃史

IPC: C02F1/58 ,  C02F1/78

CPC classification number: C02F1/5245 ,  C02F1/78 ,  C02F2101/38 ,  C02F2103/346

Abstract: 有效地除去半导体设备制造工艺中的CMP工序的排水等含有唑系铜用防腐蚀剂的水中的唑系铜用防腐蚀剂的方法。在含有唑系铜用防腐蚀剂的水中添加亚铁离子，将生成的不溶性的铁•唑系络合物分离。将不溶性的铁•唑系络合物分离后，对残留的TOC成分进行臭氧分解。通过亚铁离子，可以有效地使唑系铜用防腐蚀剂以铁•唑系络合物的形式不溶化，以进行凝聚·固液分离处理。除去由添加亚铁离子而生成的不溶物之后的水由于不仅除去了唑系铜用防腐蚀剂，还除去了悬浊物质，因此在利用臭氧进行高级氧化分解处理时，可以防止臭氧的无谓消耗，以少的臭氧注入量高度地分解除去含有残留的唑系铜用防腐蚀剂的TOC成分。

公开(公告)号：CN102216226B

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN200980146183.5

申请日：2009-10-21

Applicant: 栗田工业株式会社

Inventor： 安池友时 ,  根本笃史

IPC: C02F1/58 ,  C02F1/78

CPC classification number: C02F1/5245 ,  C02F1/78 ,  C02F2101/38 ,  C02F2103/346

Abstract: 有效地除去半导体设备制造工艺中的CMP工序的排水等含有唑系铜用防腐蚀剂的水中的唑系铜用防腐蚀剂的方法。在含有唑系铜用防腐蚀剂的水中添加亚铁离子，将生成的不溶性的铁•唑系络合物分离。将不溶性的铁•唑系络合物分离后，对残留的TOC成分进行臭氧分解。通过亚铁离子，可以有效地使唑系铜用防腐蚀剂以铁•唑系络合物的形式不溶化，以进行凝聚·固液分离处理。除去由添加亚铁离子而生成的不溶物之后的水由于不仅除去了唑系铜用防腐蚀剂，还除去了悬浊物质，因此在利用臭氧进行高级氧化分解处理时，可以防止臭氧的无谓消耗，以少的臭氧注入量高度地分解除去含有残留的唑系铜用防腐蚀剂的TOC成分。