公开(公告)号：CN113641082B

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202110935995.0

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息通过设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息通过设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统则一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

公开(公告)号：CN108231642B

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN201810026949.7

申请日：2012-05-11

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明的基板载台(20a)，从基板保持具(30a)喷出加压气体以使基板(P1)悬浮，基板搬出装置(93)以基板保持具(30a)的上面(基板装载面)为导引面使基板(P1)沿水平面移动藉此从基板保持具(30a)搬出。接着，预定曝光的另一基板(P2)在进行基板(P1)的搬出动作时，在基板保持具(30a)的上方待机，于基板(P1)的搬出动作完成后被交至基板载台(20a)所具有的数个基板顶起装置(46a)。

公开(公告)号：CN110546572B

公开(公告)日：2023-01-10

申请号：CN201880022803.3

申请日：2018-03-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  冨江瑛彦

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及器件制造方法，可适当地抑制板的定位的精度变差。曝光装置(1)是经由光学系统(13)将照明光(EL)照射至物体(P)，对物体进行扫描曝光，将掩模(M)所具有的规定图案形成于物体上的曝光装置，包括支撑光学系统的支撑装置(14)、以及设置在支撑装置上对物体进行非接触支撑的物体支撑部(152)。

公开(公告)号：CN113504712A

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN202110746539.1

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68 ,  G01B11/00 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

公开(公告)号：CN113204177A

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN202110472738.8

申请日：2016-03-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种曝光装置，借助投影光学系统向基板(P)照射照明光，相对于照明光相对地驱动基板(P)，分别对玻璃基板(P)的多个区域进行扫描曝光，该曝光装置包括：基板保持件(68)，其对基板(P)的第1区域进行悬浮支承；基板载具(70)，其保持由基板保持件(68)悬浮支承的玻璃基板(P)；X粗调台(40)，其对基板保持件(68)进行驱动；X音圈马达(84x)和Y音圈马达(84y)，二者对基板载具(70)进行驱动；以及控制装置，其在扫描曝光中对X粗调台(40)、X音圈马达(84x)等进行控制，以分别驱动基板保持件(68)和基板载具(70)。由此，能够提供一种物体位置控制性得到了提高的曝光装置。

公开(公告)号：CN112965345A

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN202110361410.9

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

公开(公告)号：CN107407893B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201680020108.4

申请日：2016-03-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 一种曝光装置，借助投影光学系统向基板(P)照射照明光，相对于照明光相对地驱动基板(P)，分别对玻璃基板(P)的多个区域进行扫描曝光，该曝光装置包括：基板保持件(68)，其对基板(P)的第1区域进行悬浮支承；基板载具(70)，其保持由基板保持件(68)悬浮支承的玻璃基板(P)；X粗调台(40)，其对基板保持件(68)进行驱动；X音圈马达(84x)和Y音圈马达(84y)，二者对基板载具(70)进行驱动；以及控制装置，其在扫描曝光中对X粗调台(40)、X音圈马达(84x)等进行控制，以分别驱动基板保持件(68)和基板载具(70)。由此，能够提供一种物体位置控制性得到了提高的曝光装置。

公开(公告)号：CN111965948A

公开(公告)日：2020-11-20

申请号：CN202010832457.4

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社 ,  尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683

Abstract: 曝光装置的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，将基板(P)的第1区域及在Y轴方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；基板载具(40)，在X轴方向不与非接触保持具(32)重叠的位置保持被非接触保持具(32)以非接触方式支承的基板(P)；Y线性致动器(62)及Y音圈马达(64)，使基板载具(40)在Y轴方向相对非接触保持具(32)相对移动；X音圈马达(66)，使基板载具(40)在X轴方向移动；以及致动器，使非接触保持具(32)在X轴方向移动。

公开(公告)号：CN111929992A

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN202010833163.3

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社 ,  尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68

Abstract: 一种移动体装置、曝光装置、平面显示器的制造方法、及元件制造方法、以及物体的移动方法。使基板(P)移动的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，以非接触方式支承基板(P)；第1驱动系，使非接触保持具(32)移动；标尺板(82)，作为非接触保持具(32)的移动的基准；第1测量部，测量Y读头(78y)的位置信息，具有标尺板(46)与Y读头(78y)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的一者设于非接触保持具(32)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者设于标尺板(82)与非接触保持具(32)之间；第2测量部，测量标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者的位置信息；及位置测量系，根据由第1及第2测量部测量的位置信息，求出非接触保持具(32)的位置信息。

公开(公告)号：CN111133383A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201780095223.2

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明为了缩短基板更换所耗的时间而提供一种基板搬运装置，其将基板搬运至保持装置，且包括：第一保持部，在所述保持装置的上方保持所述基板；第二保持部，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分；以及驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部中的一者相对于另一者相对移动；且所述保持装置、所述第一保持部及所述第二保持部在所述驱动部进行的相对移动中保持所述基板。