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公开(公告)号:CN114787225A
公开(公告)日:2022-07-22
申请号:CN202080085452.8
申请日:2020-12-10
Applicant: 株式会社可乐丽
IPC: C08G18/34 , B24B37/24 , C08G18/65 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供构成能够抑制堵塞、能够抑制损伤的发生并且能够稳定地以长寿命进行抛光的抛光层的聚氨酯、使用了该聚氨酯的抛光层、及抛光垫、以及抛光方法。本发明的聚氨酯具有至少1个以上的来自具有羧基的化合物的结构单元。另外,本发明还提供使用了该聚氨酯的抛光层、抛光垫、以及抛光方法。
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公开(公告)号:CN112839985B
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN201980067771.3
申请日:2019-11-01
Applicant: 株式会社可乐丽
Abstract: 本发明提供具有羧酸酯基的抛光层用聚氨酯,优选使用在侧链、主链末端及主链骨架中的至少一者具有羧酸酯基的聚氨酯。另外,本发明提供一种抛光层的改性方法,该方法包括:准备包含具有羧酸酯基的聚氨酯的抛光层的工序;以及使聚氨酯的羧酸酯基水解而生成羧酸基的工序。
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公开(公告)号:CN117794687A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202280054195.0
申请日:2022-08-01
Applicant: 株式会社可乐丽
IPC: B24B37/26 , B24B37/24 , H01L21/304
Abstract: 本发明为一种抛光垫,其具备具有圆形的抛光面的抛光层,并且具备从抛光面的中央区域遍及至周缘区域而形成的螺旋状槽或由配置成同心圆状的多个环状槽形成的同心圆状槽、和由从中央区域向周缘区域延伸的线段状槽形成的放射状槽。而且,线段状槽在从放射状槽中心起相对于抛光面的半径为5~10%的距离的区域具有第1端部,在从放射状槽中心起相对于抛光面的半径为35~70%的距离的区域具有第2端部,线段状槽具有相对于抛光面的半径为30~65%的比例的平均长度。而且,线段状槽的截面积Sa(mm2)与螺旋状槽或同心圆状槽的截面积Sb(mm2)满足0.1≤Sb/Sa<1.0。
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公开(公告)号:CN112839985A
公开(公告)日:2021-05-25
申请号:CN201980067771.3
申请日:2019-11-01
Applicant: 株式会社可乐丽
Abstract: 本发明提供具有羧酸酯基的抛光层用聚氨酯,优选使用在侧链、主链末端及主链骨架中的至少一者具有羧酸酯基的聚氨酯。另外,本发明提供一种抛光层的改性方法,该方法包括:准备包含具有羧酸酯基的聚氨酯的抛光层的工序;以及使聚氨酯的羧酸酯基水解而生成羧酸基的工序。
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