抛光垫
    5.
    发明公开
    抛光垫 审中-实审

    公开(公告)号:CN117794687A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202280054195.0

    申请日:2022-08-01

    Abstract: 本发明为一种抛光垫,其具备具有圆形的抛光面的抛光层,并且具备从抛光面的中央区域遍及至周缘区域而形成的螺旋状槽或由配置成同心圆状的多个环状槽形成的同心圆状槽、和由从中央区域向周缘区域延伸的线段状槽形成的放射状槽。而且,线段状槽在从放射状槽中心起相对于抛光面的半径为5~10%的距离的区域具有第1端部,在从放射状槽中心起相对于抛光面的半径为35~70%的距离的区域具有第2端部,线段状槽具有相对于抛光面的半径为30~65%的比例的平均长度。而且,线段状槽的截面积Sa(mm2)与螺旋状槽或同心圆状槽的截面积Sb(mm2)满足0.1≤Sb/Sa<1.0。

Patent Agency Ranking