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公开(公告)号:CN110869347B
公开(公告)日:2022-05-06
申请号:CN201880046004.X
申请日:2018-07-31
Applicant: 株式会社可乐丽
IPC: C07C315/06 , C07C317/04
Abstract: 一种二甲基亚砜的回收方法,其包括使包含选自二醇醚、二醇和三醇中的至少1种化合物以及二甲基亚砜的回收抗蚀剂剥离剂与水接触并进行蒸馏的工序。
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公开(公告)号:CN110869347A
公开(公告)日:2020-03-06
申请号:CN201880046004.X
申请日:2018-07-31
Applicant: 株式会社可乐丽
IPC: C07C315/06 , C07C317/04
Abstract: 一种二甲基亚砜的回收方法,其包括使包含选自二醇醚、二醇和三醇中的至少1种化合物以及二甲基亚砜的回收抗蚀剂剥离剂与水接触并进行蒸馏的工序。
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