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公开(公告)号：CN102407478A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201110061130.2
申请日：2011-03-14
Applicant: 株式会社安永
IPC: B24B27/06
Abstract: 本发明提供一种线锯装置以及使用该线锯装置的晶片制造方法，所述线锯装置将由结晶块构成的工件切断成没有锯痕或碎屑的多个晶片。该线锯装置具有线保持辊(120、130)以及辅助辊(140)，线保持辊(120、130)在外周设有对用于切断工件(W)的线(110)进行保持的线保持部件，辅助辊(140)在外周设有对用于切断工件的线进行保持的线保持部件，在设置于这些辊的外周的线保持部件的外周面，隔开预定间隔地形成有多条防止线偏移用的槽，该线锯装置具备辅助辊位置调整构件，该辅助辊位置调整构件调整辅助辊相对于线保持辊的凸出量，以使从各线保持辊的线保持部件的槽绕挂于辅助辊的线保持部件的槽的线构成的角为固定的角度。
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