流体控制器的异常检测装置、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器

    公开(公告)号:CN109983318B

    公开(公告)日:2021-07-06

    申请号:CN201880004412.9

    申请日:2018-02-06

    Abstract: 在流体控制器中,即使在流体的泄漏很少的情况下,也能够检测到泄漏。另外,通过利用信息通信技术,从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有:压力传感器(11),其检测封闭空间(S)内的压力;处理模块,其执行给定的信息处理;以及拆装机构,其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP),并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较,从而判别流体控制器(2)的异常,并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。

    分流阀
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108884946B

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN201880001361.4

    申请日:2018-01-25

    Abstract: 主通路(11)具有两个大径部(11a、11b)以及大径部(11a、11b)之间的小径部(11c)。入口通路(12)与小径部(11c)连通,各出口通路(13、14)与各大径部(11a、11b)连通。阀芯移动机构(3)具有:供对一方的大径部(11a)与小径部(11c)之间进行开闭的第1阀芯(21)固定在其一端部上的第1阀杆(22);供对另一方的大径部(11b)与小径部(11c)之间进行开闭的第2阀芯(23)固定在其一端部上的第2阀杆(24);一端部固定在第1波纹管凸缘(29)上且另一端部固定在第1阀芯(21)上的第1波纹管(28);一端部固定在第2波纹管凸缘(33)上且另一端部固定在第2阀芯(23)上的第2波纹管(32);设在主通路11外部且与第1阀杆(22)及第2阀杆(24)连接的框体(25);和使框体(25)向第1阀芯(21)及第2阀芯(23)的开闭方向移动的致动器(26)。

    流体控制器的异常检测装置、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器

    公开(公告)号:CN109983318A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201880004412.9

    申请日:2018-02-06

    Abstract: 在流体控制器中,即使在流体的泄漏很少的情况下,也能够检测到泄漏。另外,通过利用信息通信技术,从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有:压力传感器(11),其检测封闭空间(S)内的压力;处理模块,其执行给定的信息处理;以及拆装机构,其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP),并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较,从而判别流体控制器(2)的异常,并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。

    分流阀
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108884946A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201880001361.4

    申请日:2018-01-25

    Abstract: 主通路(11)具有两个大径部(11a、11b)以及大径部(11a、11b)之间的小径部(11c)。入口通路(12)与小径部(11c)连通,各出口通路(13、14)与各大径部(11a、11b)连通。阀芯移动机构(3)具有:供对一方的大径部(11a)与小径部(11c)之间进行开闭的第1阀芯(21)固定在其一端部上的第1阀杆(22);供对另一方的大径部(11b)与小径部(11c)之间进行开闭的第2阀芯(23)固定在其一端部上的第2阀杆(24);一端部固定在第1波纹管凸缘(29)上且另一端部固定在第1阀芯(21)上的第1波纹管(28);一端部固定在第2波纹管凸缘(33)上且另一端部固定在第2阀芯(23)上的第2波纹管(32);设在主通路11外部且与第1阀杆(22)及第2阀杆(24)连接的框体(25);和使框体(25)向第1阀芯(21)及第2阀芯(23)的开闭方向移动的致动器(26)。

    压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置

    公开(公告)号:CN107925368A

    公开(公告)日:2018-04-17

    申请号:CN201680030926.2

    申请日:2016-08-09

    Abstract: 本发明的目的是将压电式线性致动器、压电驱动阀、以及流量控制装置薄型化。本发明的压电式线性致动器(1)具备:积层压电致动器(2);支撑积层压电致动器(2),并且向该积层压电致动器(2)的左右侧方延伸的下部支撑部件(3);沿着积层压电致动器(2)的左右两侧延伸,并且相对于下部支撑部件(3)可上下移动地交叉并传递因积层压电致动器(2)的压电效果所产生的位移的一对位移传递部件(5);以及在下部支撑部件(3)的下方被卡止在一对位移传递部件(5)而将两位移传递部件(5)的下端部彼此连结的输出部(8),所述位移传递部件(5)各自形成为具有沿着积层压电致动器(2)的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状,在各位移传递部件(5)的下端部,以对向状形成有下部支撑部件(3)插通的纵长的导孔(5a),在该导孔(5a)的下方侧的内周缘部卡止有所述输出部(8),所述输出部(8)具备:上端部被插入在一对位移传递部件(5)的下端部间的圆柱状部(8a);以及沿着下部支撑部件(3)突出形成于圆柱状部(8a)的外周面,且被卡止在一对位移传递部件(5)的导孔(5a)的下方侧的内周缘部的一对臂部(8b),所述一对位移传递部件的宽度尺寸形成为与所述积层压电致动器的宽度尺寸相同或相同程度的尺寸。

    流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制装置

    公开(公告)号:CN107532740A

    公开(公告)日:2018-01-02

    申请号:CN201680019404.2

    申请日:2016-08-10

    Abstract: 各通路部件(3、4、9)具有所需的宽度、高度和长度,在宽度中央部设有流体通路(13、14、17、18)。作为结合机构而使用两根螺栓(15、16)。在各通路部件(3、4、9)的宽度中央部的两端部上分别各设有一个内螺纹(36A、36B、42、48)及与该内螺纹相对的螺栓穿插孔(34、35、40、47)。上侧的螺栓(15)穿插于一个通路部件(3、4)中并与另一个通路部件(9)的内螺纹(36A、36B)螺合。下侧的螺栓(16)穿插于另一个通路部件(9)中并与一个通路部件(3、4)的内螺纹(42、44)螺合。通过利用上下两根螺栓(15、16)使通路部件彼此结合,密封部件(6、7)被固定。

    泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制器

    公开(公告)号:CN104685333B

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201380033899.0

    申请日:2013-07-11

    CPC classification number: G01M3/24 G01M3/243

    Abstract: 提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器,该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上,由此,能够始终监视流体的泄漏。流体控制器(1)由流体控制器主体(2)和安装在流体控制器主体(2)上的泄漏检测装置(3)构成。在流体控制器主体(2)上设有用于检测泄漏的泄漏口(16)。泄漏检测装置(3)具有:传感器保持体(21),其安装在流体控制器主体(2)上;超声波传感器(22),其以与泄漏口(16)相对的方式保持在传感器保持体(21)上;超声波通路(23),其设在超声波传感器(22)的感应面与泄漏口(16)之间;处理电路(24),其处理由超声波传感器(22)得到的超声波。

    压力检测器的安装结构
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105074408B

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201480009580.9

    申请日:2014-03-07

    Abstract: 本发明的目的在于使得即使在压力检测器组装到安装配件主体后,也完全不存在对隔膜的应力影响,另外,也不会受到经年变化的影响。为了达成上述目的,本发明的结构如下:在将压力检测器(1)气密状地安装于在配管管路或机械装置中安装有的安装配件主体(15)的插接孔(16)内的压力检测器(1)的安装结构中,具备导管(9)、垫片压件(11)、垫片(12)、开口环(13)和罩盖(14),将垫片压件(11)和开口环(13)插入安装配件主体(15)的插接孔(16)内,并且将罩盖(14)插装于插接孔(16),将该罩盖(14)紧固于安装配件主体(15)一侧,利用开口环(13)按压垫片压件(11)和垫片(12),使垫片(12)的一端面与插接孔(16)的底面之间以及垫片(12)的另一端面与垫片压件(11)的前端面之间分别作为密封部。

    气体供应装置用流量控制器的流量测定方法

    公开(公告)号:CN103282748B

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201180064390.3

    申请日:2011-11-28

    CPC classification number: G01F5/00 G01F1/34 G01F1/86 G01F15/046

    Abstract: 本发明能够更迅速且高精度地进行气体供应装置用流量控制器的流量测定,并且谋求用于测定的流量测定装置的构造的简化及小型化。本发明由以下部分构成:分支管路(Lb),其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结,并且将其出口侧端部向气体流出侧连结;开闭阀(V),其设于分支管路(Lb)的出口侧;压力检测器(Pd)及温度检测器(Td),其检测开闭阀(V)的上游侧的气体压力及气体温度;以及运算控制装置(CP),其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号,且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量,该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结。

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