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公开(公告)号:CN105102868A
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201480009481.0
申请日:2014-02-17
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/03 , F16K27/003 , F16K37/0025 , G01K13/02 , G01M3/002 , G05D23/22 , F16K37/005 , F16K27/00 , F16K31/002 , G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构,其能够有效利用流体控制装置上的空间,通过简单的施工来设置用于温度管理的热传感器。流体控制装置(1)具备彼此相邻的第1流体控制器(3)及第2流体控制器(4),以及测定在第1流体控制器(3)内流动的流体的温度的热传感器(17)。流体控制装置(1)还具备安装在第2流体控制器(4)上,支承热传感器(17)的支承部件(19)。
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公开(公告)号:CN105102868B
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201480009481.0
申请日:2014-02-17
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/03 , F16K27/003 , F16K37/0025 , G01K13/02 , G01M3/002 , G05D23/22
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构,其能够有效利用流体控制装置上的空间,通过简单的施工来设置用于温度管理的热传感器。流体控制装置(1)具备彼此相邻的第1流体控制器(3)及第2流体控制器(4),以及测定在第1流体控制器(3)内流动的流体的温度的热传感器(17)。流体控制装置(1)还具备安装在第2流体控制器(4)上,支承热传感器(17)的支承部件(19)。
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